1. Thelofttæmi uppgufun húðunferlið felur í sér uppgufun filmuefna, flutning gufuatóma í miklu lofttæmi og ferlið við kjarnamyndun og vöxt gufuatóma á yfirborði vinnustykkisins.
2. Útfelling lofttæmi gráðu lofttæmi uppgufun lag er hátt, yfirleitt 10-510-3Pa. Frjáls leið gassameinda er 1 ~ 10m stærðargráðu, sem er miklu meiri en fjarlægðin frá uppgufunargjafanum að vinnustykkinu, þessi fjarlægð er kölluð uppgufunarfjarlægðin, yfirleitt 300 ~ 800mm.Húðunaragnirnar rekast varla við gassameindir og gufuatóm og ná til vinnustykkisins.
3. Tómarúmsuppgufunarhúðunarlagið er ekki sárhúðun, og gufuatómin fara beint í vinnustykkið undir háu lofttæmi.Aðeins sú hlið sem snýr að uppgufunargjafanum á vinnustykkinu getur fengið filmulagið og hlið og bakhlið vinnustykkisins getur varla fengið filmulagið og filmulagið hefur lélega málun.
4. Orka agnanna í tómarúmsuppgufunarhúðlaginu er lág og orkan sem nær til vinnustykkisins er hitaorkan sem uppgufunin flytur.Þar sem vinnuhlutinn er ekki hlutdrægur við lofttæmisuppgufunarhúð, treysta málmfrumeindirnar aðeins á uppgufunarhitann við uppgufun, uppgufunarhitastigið er 1000~2000 °C og orkan sem flutt er jafngildir 0,1~0,2eV, þannig að orkan á filmuagnirnar eru litlar, bindikrafturinn milli filmulagsins og fylkisins er lítill og erfitt er að mynda samsetta húð.
5. Tómarúmsuppgufunarhúðlagið hefur fíngerða uppbyggingu.Tómarúmsuppgufunarhúðunarferlið er myndað undir miklu lofttæmi og filmuagnirnar í gufunni eru í grundvallaratriðum atómkvarða og mynda fínan kjarna á yfirborði vinnustykkisins.
Pósttími: 14-jún-2023