Ferlið við jónahúðun með litlum boga

Ferlið við jónahúð með kaþódískum ljósboga er í grundvallaratriðum það sama og önnur húðunartækni og sumar aðgerðir eins og uppsetning vinnuhluta og ryksuga eru ekki lengur endurteknar.

1. Bombardment hreinsun vinnuhluta

Fyrir húðun er argon gas sett inn í húðunarhólfið með lofttæmi 2×10-2Pa.

Kveiktu á púlsskekkju aflgjafanum, með 20% vinnulotu og 800-1000V vinnustykkishlutfalli.

Þegar kveikt er á ljósbogaaflinu myndast köldsviðsbogaljósafhleðsla sem gefur frá sér mikið magn rafeindastraums og títanjónstraums frá ljósbogagjafanum og myndar plasma með miklum þéttleika.Títanjónin flýtir fyrir innspýtingu sinni í vinnustykkið undir neikvæðum háum hlutdrægni sem beitt er á vinnustykkið, sprengir og sputterar leifar gassins og mengunarefna sem frásogast á yfirborði vinnustykkisins og hreinsar og hreinsar yfirborð vinnustykkisins;Á sama tíma er klórgasið í húðunarhólfinu jónað af rafeindum og argonjónir flýta fyrir sprengjuárás á yfirborð vinnustykkisins.

Þess vegna eru sprengjuhreinsunaráhrifin góð.Aðeins um 1 mínútu af sprengjuhreinsun getur hreinsað vinnustykkið, sem er kallað „aðalbogasprengjuárás“.Vegna mikils massa títanjóna, ef lítill bogagjafi er notaður til að sprengja og þrífa vinnustykkið of lengi, er hitastig vinnustykkisins viðkvæmt fyrir ofhitnun og brún verkfæra getur orðið mjúk.Í almennri framleiðslu er kveikt á litlum ljósbogagjöfum einn í einu frá toppi til botns og hver lítill ljósbogagjafi hefur sprengjuhreinsunartíma sem er um 1 mínútu.

（1）Húðun á títan botnlag

Til að bæta viðloðun milli filmunnar og undirlagsins er lag af hreinu títan undirlagi venjulega húðað áður en títanítríð er húðað.Stilltu lofttæmisstigið í 5×10-2-3×10-1Pa, stilltu hlutspennu vinnustykkisins í 400-500V og stilltu vinnuferil púlsskekkjuaflgjafans í 40% ~ 50%.Enn að kveikja í litlum ljósbogagjöfum einn af öðrum til að mynda útblástur af köldu sviði.Vegna lækkunar á neikvæðri hlutspennu vinnustykkisins minnkar orka títanjóna.Eftir að hafa náð vinnustykkinu eru sputteringsáhrifin minni en útfellingaráhrifin og títan umbreytingarlag myndast á vinnustykkinu til að bæta tengikraftinn milli títanítríð harðfilmulagsins og undirlagsins.Þetta ferli er einnig ferlið við að hita vinnustykkið.Þegar hreint títanmarkmiðið er tæmt er ljósið í plasmanum blátt blátt.

1. Ammóníuhúðuð skál harðfilmuhúð

Stilltu lofttæmisgráðuna í 3×10^-1-5Pa, stilltu hlutspennu vinnustykkisins í 100-200V og stilltu vinnuferil púlsskekkjuaflgjafans í 70% ~ 80%.Eftir að köfnunarefni er komið á er títan samsett viðbrögð við ljósbogalosunarplasmanum til að setja títanítríð harða filmu.Á þessum tímapunkti er ljós plasma í lofttæmishólfinu kirsuberjarautt.Ef C₂H₂, O₂, o.fl. eru kynntar, TiCN, TiO₂, o.fl. filmulög er hægt að fá.

–Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua, aframleiðanda tómarúmhúðunarvéla