Thelofttæmi húðunvélarferli er skipt í: lofttæmi uppgufun húðun, tómarúm sputtering húðun og tómarúm jón húðun.
1、 Tómarúm uppgufunarhúð
Undir lofttæmi ástandinu, láttu efnið gufa upp, svo sem málm, málmblöndu osfrv., settu þau síðan á yfirborð undirlagsins, uppgufunarhúðunaraðferðin er oft að nota viðnámshitun og síðan rafeindageisla sprengjuárás á húðunarefnið, gera þau gufað upp í gasfasa, síðan sett á yfirborð undirlagsins, sögulega séð er lofttæmigufuútfelling fyrri tæknin sem notuð var í PVD aðferð.
2、 Sputtering húðun
Gasið verður fyrir glóðafhleðslu við lofttæmisaðstæður sem eru fylltar með (Ar) Á þessari stundu verða argon (Ar) atómjónin í köfnunarefnisjónir (Ar), jónunum er hraðað með krafti rafsviðsins, og sprengja bakskautsmarkmiðið sem er gert úr húðunarefninu verður skotmarkinu sprottið út og sett á yfirborð undirlagsins. Tilfallandi jónir í sputterhúðun, venjulega fengnar með glóðarútskrift, eru á bilinu 10-2pa til 10Pa, þannig að auðvelt er að rekast á sputtered agnirnar með gassameindunum í lofttæmishólfinu þegar flogið er í átt að undirlaginu, sem gerir hreyfistefnuna tilviljunarkennda og útfellda filmuna er auðvelt að vera einsleit.
3、 Jóna húðun
Við lofttæmisaðstæður, við lofttæmi, notaði ákveðna plasmajónunartækni til að jóna frumeindir húðunarefnisins að hluta í jónir. Á sama tíma eru framleidd mörg háorkuhlutlaus frumeindir sem eru neikvæðar á undirlagið. Þannig verða jónir eru sett á yfirborð undirlagsins undir djúpri neikvæðri hlutdrægni til að mynda þunna filmu.
Pósttími: 23. mars 2023