Viðnám uppgufun uppspretta húðun er grunn lofttæmi uppgufun húðun aðferð.„Evaporation“ vísar til þunnfilmugerðaraðferðar þar sem húðunarefnið í lofttæmishólfinu er hitað og uppgufað, þannig að frumeindir eða sameindir efnisins gufa upp og sleppa frá yfirborðinu og mynda gufuflæðisfyrirbæri sem fellur á yfirborð undirlag eða undirlag, og að lokum þéttað til að mynda fasta filmu.
Hin svokallaða viðnámsuppgufunargjafahúðunaraðferð er að nota tantal, mólýbden, wolfram og aðra málma með hábræðslumarki til að búa til viðeigandi lögun uppgufunargjafa, sem er hlaðinn efnum sem á að gufa upp, hleypa loftinu í gegnum, beint hita og gufa upp uppgufuð efni, eða setja efnin sem á að gufa upp í súrál, berylliumoxíð og aðrar deiglur fyrir óbeina hitun og uppgufun.Þetta er uppgufunaraðferð við mótstöðuhitun.
Thelofttæmi uppgufun húðunarvélhituð og gufuð upp með mótstöðuhitara hefur kosti einfaldrar uppbyggingar, litlum tilkostnaði og áreiðanlegri notkun.Það er hægt að nota til uppgufunarhúðunar á efnum með lágt bræðslumark, sérstaklega fyrir fjöldaframleiðslu með litlar kröfur um húðunargæði.Enn sem komið er er enn mikill fjöldi húðunarferla við upphitun og uppgufun sem eru teknir í notkun við framleiðslu á álspeglum.
Ókostir viðnáms uppgufunargjafa uppgufunarhúðunaraðferðar eru að hámarkshiti sem hægt er að ná með upphitun er takmarkaður og endingartími hitara er einnig stuttur.Á undanförnum árum, til að bæta endingu uppgufunargjafans viðnáms, hefur búnaðarverksmiðjan tekið upp leiðandi keramikefnið sem er búið til með bórnítríði með langan líftíma sem uppgufunargjafa.Samkvæmt japanskri einkaleyfisskýrslu getur það notað efni úr 20% ~ 30% bórnítríði og eldföstum efnum sem hægt er að bræða saman við það til að búa til uppgufunargjafann (deiglu) og húða yfirborð þess með lagi af sirkon sem inniheldur 62% ~82%, og restin eru sirkon-kísilblendiefni.
Birtingartími: 22. apríl 2023