Hver er vinnureglan um jónahúðun vél

Jóna húðunvél upprunninn frá kenningunni sem DM Mattox setti fram á sjöunda áratugnum og samsvarandi tilraunir hófust á þeim tíma;Fram til ársins 1971 birtu Chambers og aðrir tækni rafeindageislajónahúðunar;Benshah skýrslunni var bent á ARE (reactive evaporation plating) tæknina árið 1972, þegar ofurharðar filmugerðir eins og TiC og TiN voru framleiddar;Árið 1972 tóku Smith og Molley upp holu bakskautstæknina í húðunarferlinu.Á níunda áratugnum hafði jónahúðunin í Kína loksins náð því stigi sem iðnaðarnotkunin var notuð og húðunarferlið eins og lofttæmi fjölboga jónahúðun og ljósbogaútskrift jónahúðun hafði birst í röð.

Allt vinnuferlið við tómarúmjónhúðun er sem hér segir: í fyrsta lagi,dælalofttæmishólfið og svobíddulofttæmisþrýstingurinn í 4X10 ⁻ ³ Paeða betra, það er nauðsynlegt að tengja háspennu aflgjafann og byggja upp lághita plasma svæði af lágspennu losunargasi milli undirlagsins og uppgufunartækisins.Tengdu undirlagsrafskautið við 5000V DC neikvæða háspennu til að mynda ljómaútskrift bakskautsins.Óvirkar gasjónir myndast nálægt neikvæða ljómasvæðinu.Þeir fara inn á bakskautsdökka svæðið og er hraðað af rafsviðinu og sprengja yfirborð undirlagsins.Þetta er hreinsunarferli og farið síðan í húðunarferlið.Með áhrifum loftárásarhitunar gufast sum málmhúðunarefni upp.Plasmasvæðið fer inn í róteindir, rekst á rafeindir og óvirkar gasjónir og lítill hluti þeirra er jónaður, Þessar jónuðu jónir með mikla orku munu sprengja yfirborð filmunnar og bæta kvikmyndagæðin að einhverju leyti.

Meginreglan um lofttæmisjónhúðun er: í lofttæmishólfinu, með því að nota gaslosunarfyrirbærið eða jónaða hluta gufuefnisins, undir sprengjuárás uppgufuðu efnisjónanna eða gasjónanna, setja þessi gufuðu efni eða hvarfefni þeirra samtímis á undirlagið. til að fá þunnt filmu.Jónahúðinvélsameinar lofttæmisuppgufun, plasmatækni og gasglóalosun, sem bætir ekki aðeins gæði filmunnar heldur stækkar notkunarsvið filmunnar.Kostir þessa ferlis eru sterkur dreifing, góð filmuviðloðun og ýmis húðunarefni.Meginreglan um jónhúðun var fyrst lögð til af DM Mattox.Það eru margar tegundir af jónahúðun.Algengasta tegundin er uppgufunarhitun, þar með talið viðnámshitun, rafeindageislahitun, plasma rafeindageislahitun, hátíðni örvunarhitun og aðrar hitunaraðferðir.