Útfellingartækni með aðstoð jónageisla

Reyndar er jóngeislahjálpartækni samsett tækni.Það er samsett yfirborðsjónameðferðartækni sem sameinar jónaígræðslu og líkamlega gufuútfellingarfilmutækni, og ný tegund af jóngeisla yfirborðs fínstillingartækni.Til viðbótar við kosti líkamlegrar gufuútfellingar getur þessi tækni stöðugt vaxið hvaða þykkt filmu sem er við strangari eftirlitsaðstæður, bætt kristöllun og stefnu filmulagsins meira verulega, aukið viðloðunstyrk filmulagsins / undirlagsins, bætt þéttleikann. af filmulaginu, og búa til samsettar filmur með ákjósanlegum stoichiometric hlutföllum við nálægt stofuhita, þar á meðal nýjar gerðir af filmum sem ekki er hægt að fá við stofuhita og þrýsting.Útfelling með aðstoð jóna geisla heldur ekki aðeins kostum jónaígræðsluferlisins heldur getur hún einnig hulið undirlagið með allt annarri filmu en undirlagið.
Í alls kyns eðlisfræðilegri gufuútfellingu og efnagufuútfellingu er hægt að bæta við setti af hjálparsprengjujónabyssum til að mynda IBAD kerfi, og það eru tveir almennir IBAD ferlar sem hér segir, eins og sýnt er á myndinni:

Eins og sýnt er á mynd (a), er rafeindageislauppgufunargjafi notaður til að geisla filmulagið með jónageislanum sem geisla frá jónabyssunni, og gerir þannig útfellingu með aðstoð jóngeisla.Kosturinn er sá að hægt er að stilla orku og stefnu jóngeisla, en aðeins er hægt að nota eina eða takmarkaða málmblöndu, eða efnasamband sem uppgufunargjafa, og hver gufuþrýstingur málmblöndunnar og efnasambandsins er mismunandi, sem gerir það erfitt. til að fá filmulagið af upprunalegu uppgufunargjafasamsetningunni.
Mynd (b) sýnir jóngeisla-sputtering-aðstoðað útfellingu, sem einnig er þekkt sem tvöfaldur jóngeisla-sputtering-útfelling, þar sem skotmarkið úr jóngeisla-sputtering húðunarefni er notað sem uppspretta.Á meðan það er sett á undirlagið, er jóngeislasputtering aðstoðað útfelling náð með geislun með öðrum jónagjafa.Kosturinn við þessa aðferð er að sputtered agnirnar sjálfar hafa ákveðna orku, þannig að það er betri viðloðun við undirlagið;hvaða hluti af markmiðinu sem er getur verið sputtered húðun, en einnig getur verið viðbragðssputtering inn í kvikmyndina, auðvelt að stilla samsetningu filmunnar, en útfellingarvirkni hennar er lítil, markmiðið er dýrt og það eru vandamál eins og sértæk sputtering.