Samsettur húðunarbúnaður af segulómsputtering og kaþódískri fjölbogajónahúð getur unnið sérstaklega og samtímis;hægt að setja og útbúa hreina málmfilmu, málmsamsetta filmu eða samsetta filmu;getur verið eitt lag af filmu og marglaga samsett filma.
Kostir þess sem hér segir:
Það sameinar ekki aðeins kosti ýmissa jónahúðunar og tekur tillit til undirbúnings og útfellingar þunnrar filmu fyrir mismunandi notkunarsvið, heldur gerir það einnig kleift að útfella og undirbúa fjöllaga einlita kvikmyndir eða fjöllaga samsettar kvikmyndir í sama lofttæmi. húðunarhólf í einu.
Notkun útsettra filmulaga er mikið notuð tækni þess er í ýmsum myndum, hin dæmigerðu sem hér segir:
(1) Efnasambandið af segulrónsputtering sem ekki er í jafnvægi og kaþódísk jónhúðunartækni.
Tækið hennar er sýnt sem hér segir.Það er samsettur húðunarbúnaður úr súlulaga segulrónamarkmiði og flatri kaþódískri bogajónahúð, sem er hentugur fyrir bæði verkfærahúðunarfilmu og skreytingarfilmuhúð.Fyrir tólhúðun er kaþódbogajónahúðin fyrst notuð fyrir grunnlagshúðina og síðan er dálkmagnetronmarkmiðið notað til útfellingar nítríðs og annarra filmulaga til að fá yfirborðsfilmu fyrir vinnsluverkfæri með mikilli nákvæmni.
Fyrir skreytingarhúð er hægt að setja TiN og ZrN skreytingarfilmur fyrst með kaþódískri bogahúð og síðan dópuð með málmi með segulómamarkmiðum og lyfjaáhrifin eru mjög góð.
(2) Efnasamband tveggja plana segulrónu og dálka bakskautsbogajónahúðunartækni.Tækið er sýnt sem hér segir.Það er notað háþróaða tveggja marka tæknina, þegar tvö hlið við hlið tvíhliða markmið tengd við miðlungs tíðni aflgjafa, sigrast það ekki aðeins á markeitrun DC sputtering, eldi og öðrum göllum;og getur sett Al203, SiO2 oxíð gæðafilmu, þannig að oxunarþol húðuðu hlutanna hefur aukist og batnað.Dálka fjölboga skotmark sett upp í miðju lofttæmishólfsins, markefnið er hægt að nota Ti og Zr, ekki aðeins til að viðhalda kostum hás fjölboga sundrunhraða, útfellingarhraða, heldur getur það einnig í raun dregið úr "dropa" í ferli lítillar flugvélar með fjölboga miða útfellingu, getur sett inn og undirbúið lágt porosity af málmfilmum, samsettum kvikmyndum.Ef Al og Si eru notuð sem markefni fyrir tvöfalda plana segulrónumiðin sem sett eru upp á jaðrinum, er hægt að setja Al203 eða Si0 málm-keramikfilmur og undirbúa þær.Að auki er hægt að setja upp mörg lítil flugvél af fjölboga uppgufunargjafa á jaðrinum, og markefni þess getur verið Cr eða Ni, og málmfilmur og marglaga samsettar kvikmyndir geta komið fyrir og undirbúið.Þess vegna er þessi samsetta húðunartækni samsett húðunartækni með mörgum forritum.
Pósttími: Nóv-08-2022