Almennt treysta CVD viðbrögð á háum hita, þess vegna kölluð varmaört efnagufuútfelling (TCVD).Það notar almennt ólífræna forefni og er framkvæmt í heitum vegg og köldu vegg reactors.Upphitunaraðferðir þess eru meðal annars útvarpsbylgjur (RF) hitun, innrauða geislunarhitun, viðnámshitun osfrv.
Heitur veggur efnagufuútfelling
Reyndar er heitveggsefnagufuútfellingarofn hitastillir ofn, venjulega hitaður með viðnámsþáttum, til framleiðslu með hléum.Teikning af framleiðsluaðstöðu fyrir efnagufuútfellingu með heitum vegg fyrir húðun á flísverkfærum er sýnd sem hér segir.Þessi efnagufuútfelling með heitum vegg getur húðað TiN, TiC, TiCN og aðrar þunnar filmur.Hægt er að hanna kjarnaofann þannig að hann sé nógu stór og geymir síðan mikinn fjölda íhluta og hægt er að stjórna skilyrðunum mjög nákvæmlega fyrir útfellingu.Mynd 1 sýnir þekjulagsbúnað fyrir kísildópun á hálfleiðaraframleiðslu.Undirlagið í ofninum er sett í lóðrétta átt til að draga úr mengun á útfellingaryfirborðinu af ögnum og auka framleiðsluhleðsluna til muna.Heitveggsofnar fyrir hálfleiðaraframleiðslu eru venjulega starfræktir við lágan þrýsting.
Pósttími: Nóv-08-2022