Tómarúm plasmahreinsibúnaður samþykkir samþætta uppbyggingu, búin RF jónahreinsikerfi, fullkomlega sjálfvirkri stjórn, þægilegri notkun og viðhaldi.
RF hátíðni rafallinn getur framleitt háþéttni plasma, virkjað, æta og ösku yfirborð vinnustykkisins, í raun fjarlægt ryk og fitu á yfirborði vörunnar, losað yfirborðsálagið og fengið ýmsar breytingar á yfirborði vinnustykkisins.
Það á við um gúmmí, gler, keramik, málm og aðrar vörur og er notað á öreindatækni, LCD, LED, LCM, PCB hringrás, hálfleiðara umbúðir, lækningatæki, lífvísindatilraunir og önnur svið.