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Linea di produzione di rivestimento a semiconduttore orizzontale a doppia faccia

  • Rivestimento sputtering bifacciale orizzontale
  • Applicabile ai prodotti nell'industria dei semiconduttori
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    Prodotto

    DESCRIZIONE DEL PRODOTTO

    La linea di rivestimento adotta una struttura modulare, che può aumentare la camera in base ai requisiti di processo ed efficienza, e può essere rivestita su entrambi i lati, il che è flessibile e conveniente.Dotato di sistema di pulizia ionica, sistema di riscaldamento rapido e sistema di sputtering magnetron CC, può depositare in modo efficiente un semplice rivestimento metallico.L'attrezzatura ha un ritmo veloce, un bloccaggio conveniente e un'alta efficienza.

    La linea di rivestimento è dotata di pulizia ionica e sistema di cottura ad alta temperatura, quindi l'adesione del film depositato è migliore.Il piccolo angolo sputtering con bersaglio rotante è favorevole per la deposizione di film sulla superficie interna di piccole aperture.

    1. L'apparecchiatura ha una struttura compatta e una superficie ridotta.
    2. Il sistema del vuoto è dotato di pompa molecolare per l'estrazione dell'aria, a basso consumo energetico.
    3. Il ritorno automatico del rack del materiale consente di risparmiare manodopera.
    4. I parametri di processo possono essere tracciati e il processo di produzione può essere monitorato durante l'intero processo per facilitare il monitoraggio dei difetti di produzione.
    5. La linea di rivestimento ha un alto grado di automazione.Può essere utilizzato con il manipolatore per collegare i processi anteriore e posteriore e ridurre il costo della manodopera.

    Può sostituire la stampa in pasta d'argento nel processo di produzione dei condensatori, con maggiore efficienza e costi inferiori.
    È applicabile a Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn e altri metalli semplici.È stato ampiamente utilizzato nei componenti elettronici a semiconduttore, come substrati ceramici, condensatori ceramici, supporti ceramici led, ecc.

    La macchina può essere progettata secondo il requisito dei clienti Ottieni un preventivo

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