L'apparecchiatura integra la tecnologia di sputtering del magnetron e di evaporazione della resistenza e fornisce una soluzione per rivestire una varietà di substrati diversi.
L'apparecchiatura di rivestimento sperimentale viene utilizzata principalmente nelle università e negli istituti di ricerca scientifica e può soddisfare una varietà di requisiti sperimentali.Vari obiettivi strutturali sono riservati alle apparecchiature, che possono essere configurate in modo flessibile per soddisfare la ricerca scientifica e lo sviluppo in diversi campi.È possibile selezionare il sistema di sputtering del magnetron, il sistema ad arco catodico, il sistema di evaporazione del fascio di elettroni, il sistema di evaporazione della resistenza, CVD, PECVD, la sorgente ionica, il sistema di polarizzazione, il sistema di riscaldamento, il dispositivo tridimensionale, ecc.I clienti possono selezionare in base alle loro diverse esigenze.
L'apparecchiatura ha le caratteristiche di bell'aspetto, struttura compatta, superficie ridotta, alto grado di automazione, funzionamento semplice e flessibile, prestazioni stabili e facilità di manutenzione.
L'apparecchiatura può essere applicata a plastica, acciaio inossidabile, hardware elettrolitico / parti in plastica, vetro, ceramica e altri materiali.Si possono preparare strati metallici semplici come titanio, cromo, argento, rame, alluminio o film di composti metallici come TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(millimetro) |