1) Gli obiettivi cilindrici hanno un tasso di utilizzo più elevato rispetto agli obiettivi planari.Nel processo di rivestimento, sia che si tratti di un bersaglio di sputtering cilindrico di tipo magnetico rotante o di tipo a tubo rotante, tutte le parti della superficie del tubo target passano continuamente attraverso l'area di sputtering generata davanti al magnete permanente per ricevere lo sputtering catodico e il il bersaglio può essere spruzzato uniformemente inciso e il tasso di utilizzo del bersaglio è elevato.Il tasso di utilizzo dei materiali target è di circa l'80% ~ 90%.
2) Obiettivi cilindrici non saranno facili da produrre "avvelenamento da bersaglio".Durante il processo di rivestimento, la superficie del tubo bersaglio è sempre spruzzata e incisa dagli ioni, e non è facile accumulare ossidi spessi e altri film isolanti sulla superficie e non è facile produrre "avvelenamento da bersaglio".
3) La struttura del bersaglio di sputtering cilindrico del tipo a tubo rotante è semplice e facile da installare.
4) Il materiale del tubo bersaglio cilindrico ha vari tipi.bersaglio planare con raffreddamento ad acqua diretto del bersaglio in metallo, e alcuni non possono essere elaborati e formati bersagli cilindrici, come il bersaglio In2-SnO2, ecc. Con materiale in polvere per pressatura isostatica a caldo per ottenere bersagli simili a piastre, perché la dimensione non può essere fatta grande e fragile, quindi è necessario utilizzare il metodo di brasatura e la piastra posteriore in rame da integrare e quindi installare sulla base di destinazione.Oltre ai tubi metallici, i bersagli colonnari possono essere spruzzati anche sulla superficie dei tubi in acciaio inossidabile con vari materiali che devono essere rivestiti, come Si, Cr, ecc.
Attualmente, la percentuale di obiettivi cilindrici per il rivestimento nella produzione industriale è in aumento.Gli obiettivi cilindrici non solo vengono utilizzati per la macchina di rivestimento verticale, ma anche utilizzati nella macchina di rivestimento roll to roll.Negli ultimi anni, i bersagli gemelli planari sono stati gradualmente sostituiti dai bersagli gemelli cilindrici.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, aproduttore di macchine per rivestimento ottico.
Tempo di pubblicazione: maggio-11-2023