1.Caratteristiche del flusso di elettroni ad arco
La densità del flusso di elettroni, del flusso di ioni e degli atomi neutri ad alta energia nel plasma ad arco generato dalla scarica ad arco è molto più alta di quella della scarica a bagliore.Ci sono più ioni gas e ioni metallici ionizzati, atomi eccitati ad alta energia e vari gruppi attivi nello spazio di rivestimento, che svolgono un ruolo importante nelle fasi di riscaldamento, pulizia e rivestimento del processo di rivestimento.La forma di azione del flusso di elettroni ad arco è diversa da quella del fascio ionico, non tutti convergono in un "raggio", ma principalmente in uno stato divergente, quindi è chiamato flusso di elettroni ad arco.Poiché gli elettroni dell'arco fluiscono verso l'anodo, il flusso di elettroni dell'arco è diretto ovunque sia collegato l'elettrodo positivo dell'alimentatore dell'arco e l'anodo può essere un pezzo, un anodo ausiliario, un crogiolo, ecc.
2. Metodo di generazione del flusso di elettroni ad arco
(1) La sorgente di gas genera un flusso di elettroni ad arco: la corrente dell'arco della scarica dell'arco del catodo cavo e della scarica dell'arco del filo caldo può raggiungere circa 200 A e la tensione dell'arco è di 50-70 V.
(2) La sorgente solida genera un flusso di elettroni ad arco: sorgente ad arco catodico, inclusa sorgente ad arco piccolo, sorgente ad arco cilindrico, sorgente ad arco grande su piano rettangolare, ecc. 18-25 V.
Il flusso di elettroni ad arco ad alta densità e bassa energia in due tipi di plasmi a scarica ad arco può generare un'intensa ionizzazione di collisione con atomi di film di gas e metallo, ottenendo più ioni gas, ioni metallici e vari atomi e gruppi attivi ad alta energia, migliorando così l'attività complessiva degli ioni dello strato di pellicola.
–Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua, aproduttore di macchine per rivestimento sottovuoto
Tempo di pubblicazione: 31 maggio-2023