1. La polarizzazione del pezzo è bassa
A causa dell'aggiunta di un dispositivo per aumentare la velocità di ionizzazione, la densità della corrente di scarica viene aumentata e la tensione di polarizzazione viene ridotta a 0,5~1kV.
Il backsputtering causato dall'eccessivo bombardamento di ioni ad alta energia e l'effetto dannoso sulla superficie del pezzo vengono ridotti.
2. Aumento della densità del plasma
Sono state aggiunte varie misure per promuovere la ionizzazione da collisione e il tasso di ionizzazione del metallo è aumentato dal 3% a oltre il 15%.La densità di ioni mento e atomi neutri ad alta energia, ioni di azoto, atomi attivi ad alta energia e gruppi attivi nella camera di rivestimento è aumentata, il che favorisce la reazione per formare composti.Le suddette varie tecnologie di rivestimento ionico con scarica a bagliore potenziate sono state in grado di ottenere strati di pellicola dura TN mediante deposizione di reazione a densità di plasma più elevate, ma poiché appartengono al tipo a scarica a bagliore, la densità della corrente di scarica non è sufficientemente elevata (ancora livello mA/cm2 ), e la densità complessiva del plasma non è sufficientemente elevata e il processo di rivestimento del composto di deposizione della reazione è difficile.
3. L'intervallo di rivestimento della fonte di evaporazione puntuale è piccolo
Varie tecnologie di rivestimento ionico potenziate utilizzano sorgenti di evaporazione a fascio di elettroni e gantu come sorgente di evaporazione puntuale, che è limitata a un certo intervallo sopra gantu per la deposizione di reazione, quindi la produttività è bassa, il processo è difficile ed è difficile da industrializzare.
4. Funzionamento ad alta pressione della pistola elettronica
La tensione del cannone elettronico è di 6 ~ 30 kV e la tensione di polarizzazione del pezzo è di 0,5 ~ 3 kV, che appartiene al funzionamento ad alta tensione e presenta alcuni rischi per la sicurezza.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, aproduttore di macchine per rivestimento ottico.
Tempo di pubblicazione: maggio-12-2023