1. Tecnologia termica CVD
I rivestimenti duri sono per lo più rivestimenti in metallo-ceramica (TiN, ecc.), formati dalla reazione del metallo nel rivestimento e dalla gassificazione reattiva.Inizialmente, la tecnologia termica CVD è stata utilizzata per fornire l'energia di attivazione della reazione di combinazione mediante energia termica a una temperatura elevata di 1000 ℃.Questa temperatura è adatta solo per depositare TiN e altri rivestimenti duri su utensili in metallo duro.Finora, è ancora una tecnologia importante depositare rivestimenti compositi TiN-Al20 su teste di utensili in metallo duro.
2. Rivestimento ionico a catodo cavo e rivestimento ionico ad arco a filo caldo
Negli anni '80, il rivestimento ionico a catodo cavo e il rivestimento ionico ad arco a filo caldo sono stati utilizzati per depositare utensili da taglio rivestiti.Entrambe queste tecnologie di rivestimento ionico sono tecnologie di rivestimento ionico con scarica ad arco, con un tasso di ionizzazione del metallo fino al 20%~40%.
3. Rivestimento catodico con ioni ad arco
L'emergere del rivestimento ionico ad arco catodico ha portato allo sviluppo della tecnologia di deposito di rivestimenti duri sugli stampi.Il tasso di ionizzazione del rivestimento ionico ad arco catodico è del 60% ~ 90%, consentendo a un gran numero di ioni metallici e ioni di gas di reazione di raggiungere la superficie del pezzo e mantenere comunque un'elevata attività, con conseguente deposito di reazione e formazione di rivestimenti duri come Lattina.Allo stato attuale, la tecnologia di rivestimento con ioni ad arco catodico viene utilizzata principalmente per depositare rivestimenti duri su stampi.
La sorgente dell'arco catodico è una sorgente di evaporazione allo stato solido senza un bagno fuso fisso e la posizione della sorgente dell'arco può essere posizionata arbitrariamente, migliorando il tasso di utilizzo dello spazio della camera di rivestimento e aumentando la capacità di caricamento del forno.Le forme delle sorgenti ad arco catodico includono piccole sorgenti ad arco catodico circolare, sorgenti ad arco colonnare e sorgenti rettangolari piatte ad arco grande.Diversi componenti di piccole sorgenti ad arco, sorgenti ad arco colonnare e sorgenti ad arco di grandi dimensioni possono essere disposti separatamente per depositare film multistrato e nanofilm multistrato.Nel frattempo, a causa dell'elevato tasso di ionizzazione del metallo del rivestimento ionico ad arco catodico, gli ioni metallici possono assorbire più gas di reazione, risultando in un'ampia gamma di processi e operazioni semplici per ottenere eccellenti rivestimenti duri.Tuttavia, ci sono goccioline grossolane nella microstruttura dello strato di rivestimento ottenuto mediante rivestimento catodico con ioni ad arco.Negli ultimi anni sono emerse molte nuove tecnologie per perfezionare la struttura dello strato di pellicola, che ha migliorato la qualità del film di rivestimento con ioni d'arco.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, aproduttore di macchine per rivestimento ottico.
Tempo di pubblicazione: 28 aprile 2023