Processo di polimerizzazione diretta al plasma
Il processo di polimerizzazione al plasma è relativamente semplice sia per l'apparecchiatura di polimerizzazione dell'elettrodo interno che per l'apparecchiatura di polimerizzazione dell'elettrodo esterno, ma la selezione dei parametri è più importante nella polimerizzazione al plasma, poiché i parametri hanno un impatto maggiore sulla struttura e sulle prestazioni dei film polimerici durante la polimerizzazione al plasma.
Le fasi operative per la polimerizzazione diretta al plasma sono le seguenti:
(1) Aspirazione
Il vuoto di fondo della polimerizzazione in condizioni di vuoto deve essere pompato a 1,3×10-1Pa.Per le reazioni di polimerizzazione che richiedono requisiti speciali per il controllo del contenuto di ossigeno o azoto, il requisito del vuoto di fondo è ancora più elevato.
(2) Monomero di reazione di carica o gas misto di gas di trasporto e monomero
Il grado di vuoto è 13-130 Pa.Per la polimerizzazione al plasma che richiede lavoro, è necessario selezionare la modalità di controllo del flusso e la portata appropriate, generalmente 10,100 ml/min.Nel plasma, le molecole monomeriche vengono ionizzate e dissociate dal bombardamento di particelle energetiche, risultando in particelle attive come ioni e geni attivi.Le particelle attive attivate dal plasma possono subire la polimerizzazione al plasma all'interfaccia tra fase gassosa e fase solida.Il monomero è la fonte del precursore per la polimerizzazione al plasma e il gas di reazione in ingresso e il monomero devono avere una certa purezza.
(3) Selezione dell'alimentazione di eccitazione
Il plasma può essere generato utilizzando fonti di alimentazione CC, ad alta frequenza, RF o microonde per fornire un ambiente al plasma per la polimerizzazione.La selezione dell'alimentatore è determinata in base ai requisiti per la struttura e le prestazioni del polimero.
(4) Selezione della modalità di scarica
Per i requisiti dei polimeri, la polimerizzazione al plasma può scegliere due modalità di scarica: scarica continua o scarica a impulsi.
(5) Selezione dei parametri di scarico
Quando si esegue la polimerizzazione al plasma, i parametri di scarica devono essere considerati dai parametri del plasma, dalle proprietà del polimero e dai requisiti della struttura.L'entità della potenza applicata durante la polimerizzazione è determinata dal volume della camera a vuoto, dalle dimensioni dell'elettrodo, dalla portata e dalla struttura del monomero, dalla velocità di polimerizzazione e dalla struttura e dalle prestazioni del polimero.Ad esempio, se il volume della camera di reazione è 1L e viene adottata la polimerizzazione al plasma RF, la potenza di scarica sarà compresa tra 10 e 30 W.In tali condizioni, il plasma generato può aggregarsi per formare una pellicola sottile sulla superficie del pezzo.Il tasso di crescita del film di polimerizzazione al plasma varia in base all'alimentazione, al tipo di monomero e alla portata e alle condizioni di processo.Generalmente, il tasso di crescita è di 100nm/min~1um/min.
(6) Misurazione dei parametri nella polimerizzazione al plasma
I parametri del plasma e i parametri di processo da misurare nella polimerizzazione al plasma includono: tensione di scarica, corrente di scarica, frequenza di scarica, temperatura dell'elettrone, densità, tipo e concentrazione del gruppo di reazione, ecc.
——Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua Technology, aproduttore di macchine per rivestimento ottico.
Tempo di pubblicazione: maggio-05-2023