Il processo di rivestimento ionico del catodo cavo è il seguente:
1 、 Metti i lingotti Chin nel collasso.
2、Montaggio del pezzo.
3、Dopo l'evacuazione a 5×10-3Pa, il gas argon viene introdotto nella camera di rivestimento dal tubo d'argento e il livello di vuoto è di circa 100Pa.
4、Attivare il bias.
5 、 Dopo aver acceso l'alimentazione dell'arco per accendere la scarica del catodo cavo. La scarica del bagliore viene generata nel tubo del pulsante, la tensione di scarica è di 800 ~ 1000 V, la corrente di sollevamento dell'arco è di 30 ~ 50 A. A causa dell'effetto del catodo cavo del bagliore scarica, alta densità di corrente di scarica a bagliore, l'alta densità di ioni di razione nel tubo d'argento bombarda la parete del tubo di vantaggio, riscalda rapidamente la parete del tubo fino all'emissione del flusso di elettroni, la modalità di scarica dalla scarica a bagliore cambia improvvisamente in scarica ad arco, la tensione è 40 ~ 70 V, la corrente è 80 ~ 300 A. La temperatura del tubo d'argento raggiunge oltre 2300 K, incandescente, emette un flusso ad alta densità di elettroni ad arco dal tubo e sparato all'anodo.
6、Regolazione del livello di vuoto. Il livello di vuoto per la scarica luminescente dalla pistola a catodo cavo è di circa 100 Pa, e il grado di vuoto del rivestimento è 8×10-1~2Pa. Pertanto, dopo l'accensione della scarica dell'arco, ridurre l'argon in ingresso gas il più presto possibile, regolare il livello di vuoto su un intervallo adatto al rivestimento.
7 、 Strato di base placcato in titanio. Flusso di elettroni sul lingotto di metallo Chin collassato anodicamente, conversione dell'energia cinetica in energia termica, evaporazione del metallo Chin mediante riscaldamento, gli atomi di vapore raggiungono il pezzo in lavorazione per formare un film di titanio.
8 、 Deposizione di TiN. Il gas di azoto viene fornito alla camera di rivestimento, il gas di azoto e gli atomi evaporati vengono ionizzati in ioni di azoto e titanio. Sopra il crogiolo, maggiore probabilità di collisioni anelastiche di atomi di vapore di titanio con flussi densi di elettroni a bassa energia, Il tasso di dissociazione del metallo raggiunge il 20% ~ 40%., Gli ioni di titanio hanno maggiori probabilità di reagire chimicamente con l'azoto del gas di reazione, Deposizione per ottenere uno strato di pellicola di mantello di nitruro. La pistola a catodo cavo è sia una fonte di vaporizzazione ， Un'altra fonte di ionizzazione. Durante il rivestimento, anche la corrente della bobina elettromagnetica attorno al crogiolo dovrebbe essere regolata, focalizzare il fascio di elettroni al centro del collasso, quindi, la densità di potenza del flusso di elettroni è aumentata.
9、Spegnimento. Dopo che lo spessore del film raggiunge lo spessore del film predeterminato, spegnere l'alimentazione dell'arco、l'alimentazione di polarizzazione e l'alimentazione dell'aria.
Tempo di pubblicazione: luglio-08-2023