Il processo di rivestimento ionico della sorgente ad arco catodico è fondamentalmente lo stesso di altre tecnologie di rivestimento e alcune operazioni come l'installazione di pezzi e l'aspirazione non vengono più ripetute.
pulizia 1.Bombardment dei pezzi in lavorazione
Prima del rivestimento, il gas argon viene introdotto nella camera di rivestimento con un vuoto di 2×10-2Pa.
Attivare l'alimentazione di polarizzazione dell'impulso, con un ciclo di lavoro del 20% e una polarizzazione del pezzo in lavorazione di 800-1000 V.
Quando l'alimentazione dell'arco viene attivata, viene generata una scarica di luce ad arco a campo freddo, che emette una grande quantità di corrente di elettroni e corrente di ioni di titanio dalla sorgente dell'arco, formando un plasma ad alta densità.Lo ione di titanio accelera la sua iniezione nel pezzo in lavorazione sotto l'elevata pressione di polarizzazione negativa applicata al pezzo in lavorazione, bombardando e polverizzando il gas residuo e gli inquinanti adsorbiti sulla superficie del pezzo in lavorazione e pulendo e purificando la superficie del pezzo in lavorazione;Allo stesso tempo, il cloro gassoso nella camera di rivestimento viene ionizzato dagli elettroni e gli ioni di argon accelerano il bombardamento della superficie del pezzo.
Pertanto, l'effetto di pulizia del bombardamento è buono.Solo circa 1 minuto di pulizia del bombardamento può pulire il pezzo, che è chiamato "bombardamento dell'arco principale".A causa dell'elevata massa di ioni di titanio, se si utilizza una piccola sorgente ad arco per bombardare e pulire il pezzo per troppo tempo, la temperatura del pezzo è soggetta a surriscaldamento e il tagliente dell'utensile può diventare morbido.Nella produzione generale, le sorgenti ad arco piccolo vengono accese una ad una dall'alto verso il basso e ciascuna sorgente ad arco piccolo ha un tempo di pulizia del bombardamento di circa 1 minuto.
(1) Rivestimento inferiore in titanio
Per migliorare l'adesione tra il film e il substrato, uno strato di substrato di titanio puro viene solitamente rivestito prima del rivestimento di nitruro di titanio.Regolare il livello di vuoto su 5×10-2-3×10-1Pa, regolare la tensione di polarizzazione del pezzo da lavorare su 400-500 V e regolare il ciclo di lavoro dell'alimentatore di polarizzazione a impulsi su 40%~50%.Ancora accendendo piccole sorgenti di arco una per una per generare scariche di arco a campo freddo.A causa della diminuzione della tensione di polarizzazione negativa del pezzo, l'energia degli ioni di titanio diminuisce.Dopo aver raggiunto il pezzo, l'effetto di sputtering è inferiore all'effetto di deposizione e sul pezzo si forma uno strato di transizione di titanio per migliorare la forza di adesione tra lo strato di pellicola dura di nitruro di titanio e il substrato.Questo processo è anche il processo di riscaldamento del pezzo.Quando il bersaglio in titanio puro viene scaricato, la luce nel plasma è di colore azzurro.
1. Rivestimento in film duro con ciotola ammoniata
Regolare il grado di vuoto a 3×10-1-5Pa, regolare la tensione di polarizzazione del pezzo in lavorazione a 100-200 V e regolare il ciclo di lavoro dell'alimentazione di polarizzazione a impulsi al 70% ~ 80%.Dopo l'introduzione dell'azoto, il titanio è una reazione combinata con il plasma di scarica ad arco per depositare una pellicola dura di nitruro di titanio.A questo punto, la luce del plasma nella camera a vuoto è rosso ciliegia.Se c2H2, o2, ecc. vengono introdotti, TiCN, TiO2, ecc. si possono ottenere strati di film.
–Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua, aproduttore di macchine per rivestimento sottovuoto
Tempo di pubblicazione: giu-01-2023