Il rivestimento della fonte di evaporazione della resistenza è un metodo di rivestimento di evaporazione sotto vuoto di base."Evaporazione" si riferisce a un metodo di preparazione del film sottile in cui il materiale di rivestimento nella camera a vuoto viene riscaldato ed evaporato, in modo che gli atomi o le molecole del materiale vaporizzino e fuoriescano dalla superficie, formando un fenomeno di flusso di vapore, incidente sulla superficie del substrato o substrato, e infine condensato per formare un film solido.
Il cosiddetto metodo di rivestimento della fonte di evaporazione della resistenza consiste nell'utilizzare tantalio, molibdeno, tungsteno e altri metalli ad alto punto di fusione per creare una forma appropriata della fonte di evaporazione, che viene caricata con materiali da evaporare, far passare l'aria, riscaldare direttamente e evaporare i materiali evaporati o mettere i materiali da evaporare in allumina, ossido di berillio e altri crogioli per il riscaldamento indiretto e l'evaporazione.Questo è il metodo di evaporazione del riscaldamento a resistenza.
ILmacchina di rivestimento per evaporazione sottovuotoriscaldato ed evaporato dal riscaldatore a resistenza presenta i vantaggi di una struttura semplice, basso costo e uso affidabile.Può essere utilizzato per il rivestimento per evaporazione di materiali con basso punto di fusione, in particolare per la produzione di massa con bassi requisiti di qualità del rivestimento.Finora, sono ancora numerosi i processi di rivestimento di riscaldamento a resistenza ed evaporazione messi in uso nella produzione di specchi alluminizzati.
Gli svantaggi del metodo di rivestimento per evaporazione della fonte di evaporazione della resistenza sono che la temperatura massima che può essere raggiunta dal riscaldamento è limitata e anche la durata del riscaldatore è breve.Negli ultimi anni, al fine di migliorare la durata della fonte di evaporazione della resistenza, la fabbrica di apparecchiature ha adottato il materiale ceramico conduttivo sintetizzato dal nitruro di boro con una lunga durata come fonte di evaporazione.Secondo un rapporto di brevetto giapponese, può utilizzare materiali composti dal 20%~30% di nitruro di boro e materiali refrattari che possono essere fusi con esso per creare la fonte di evaporazione (crogiolo) e rivestire la sua superficie con uno strato di zirconio contenente il 62% ~ 82% e il resto sono materiali in lega di zirconio-silicio.
Tempo di pubblicazione: 22 aprile 2023