הציוד מאמץ את טכנולוגיית אידוי אלומת האלקטרונים.אלקטרונים נפלטים מחוט הקתודה וממוקדים לזרם קרן מסוים, המואץ על ידי הפוטנציאל שבין הקתודה לכור ההיתוך להמיס ולאידוי חומר הציפוי.יש לו את המאפיינים של צפיפות אנרגיה גבוהה והוא יכול לאדות את חומר הציפוי עם נקודת התכה של יותר מ 3000 ℃.לסרט טוהר גבוה ויעילות תרמית גבוהה.
הציוד מצויד במקור אידוי קרן אלקטרונים, מקור יונים, מערכת ניטור עובי הסרט, מבנה תיקון עובי הסרט ומערכת סיבוב חומרי מטרייה יציבה.באמצעות ציפוי בסיוע מקור יונים, גדלה הקומפקטיות של הסרט, מקדם השבירה מתייצב ונמנעת תופעת שינוי אורך הגל עקב לחות.מערכת ניטור בזמן אמת בעובי הסרט האוטומטית יכולה להבטיח את יכולת החזרה ויציבות התהליך.הוא מצויד בפונקציית התכה עצמית כדי להפחית את התלות בכישורי המפעיל.
הציוד ישים לתחמוצות וחומרי ציפוי מתכת שונים, וניתן לציפוי בסרטים אופטיים דיוק רב-שכבתיים, כגון סרט AR, מעבר גל ארוך, מעבר גל קצר, סרט הבהרה, סרט AS/AF, IRCUT, מערכת סרטים צבעוניים , מערכת סרטי שיפוע וכו'. נעשה בו שימוש נרחב במשקפי AR, עדשות אופטיות, מצלמות, עדשות אופטיות, מסננים, תעשיות מוליכים למחצה וכו'.