HFCVD0606

תא ציפוי הוואקום של ציוד שקיעת האדים הכימיים מאמץ מבנה קירור מים דו-שכבתי עצמאי, יעיל ואחיד בקירור ובעל מבנה בטוח ויציב.הציוד מתוכנן עם דלתות כפולות, חלונות תצפית מרובים וממשקי הרחבה מרובים, דבר הנוח לחיבור חיצוני של ציוד היקפי נלווה כגון מדידת טמפרטורה אינפרא אדום, ניתוח ספקטרלי, ניטור וידאו וצמד תרמי.תפיסת העיצוב המתקדמת הופכת את השיפוץ והתחזוקה היומיומיים, שינוי התצורה והשדרוג של הציוד לקלים ופשוטים, ומפחיתה למעשה את עלויות השימוש והשדרוג.

תכונות הציוד:

1. רכיבי הניפוח של הציוד כוללים בעיקר מד זרימת מסה, שסתום סולנואיד ומיכל ערבוב גז, המבטיחים שליטה מדויקת על זרימת הגז בתהליך, ערבוב אחיד ובידוד בטוח של גזים שונים, ויכולים לבחור רכיבי מערכת גז לשימוש של מקור גז נוזלי, מאפשר בחירה מותאמת אישית של מגוון רחב של מקורות פחמן נוזלי, ושימוש בטוח ביהלומים מוליכים סינתטיים ואלקטרודות בור נוזלי.
2. מכלול חילוץ האוויר מצויד במשאבת ואקום סיבובית שקטה ויעילה ובמערכת משאבת טורבו מולקולרית שיכולה לעמוד במהירות בסביבת רקע הוואקום הגבוה.מד הוואקום המרוכב עם מד התנגדות ומד יינון משמש למדידת ואקום, כמו גם מערכת מד הסרט הקיבולי שיכולה למדוד את הלחץ של גזי תהליך שונים בטווח רחב.לחץ התצהיר נשלט באופן אוטומטי לחלוטין על ידי שסתום בקרה פרופורציונלי ברמת דיוק גבוהה.
3. רכיב מי הקירור מצויד בלחץ מים רב ערוצי, זרימה, מדידת טמפרטורה וניטור אוטומטי של תוכנה.רכיבי קירור שונים אינם תלויים זה בזה, מה שנוח לאבחון תקלות מהיר.לכל הסניפים מתגי שסתומים עצמאיים, בטוחים ויעילים.
4. רכיבי הבקרה החשמליים מאמצים מסך LCD בממשק אדם-מכונה בגודל גדול ומשתפים פעולה עם בקרה אוטומטית מלאה של PLC כדי להקל על העריכה והיבוא של נוסחת התהליך.העקומה הגרפית מציגה חזותית את השינויים והערכים של פרמטרים שונים, ופרמטרי הציוד והתהליך מתועדים ומאוחסנים באופן אוטומטי כדי להקל על מעקב אחר בעיות וניתוח סטטיסטי של נתונים.
5. מתלה העבודה מצויד במנוע סרוו לשליטה בהרמה והורדה של שולחן המצע.ניתן לבחור את טבלת המצע של גרפיט או נחושת אדומה.הטמפרטורה נמדדת על ידי צמד תרמי.
6. ניתן לעצב את רכיבי המתלה כמכלול או בנפרד בהתאם לדרישות הלקוח כדי לעמוד בדרישות הטיפול המיוחדות של הלקוחות.
7. רכיבי לוח האיטום הם יפים ואלגנטיים.את לוחות האיטום באזורי מודול פונקציונליים שונים של הציוד ניתן לפרק במהירות או לפתוח ולסגור באופן עצמאי, וזה מאוד נוח לשימוש.

ציוד CVD נימה חמה מתאים להפקדת חומרי יהלום, כולל ציפוי סרט דק, סרט עבה התומך בעצמו, יהלום מיקרו-גבישי וננו-גבישי, יהלום מוליך וכו'. הוא משמש בעיקר לציפוי מגן עמיד בפני שחיקה של כלי חיתוך קרביד מוצק, חומרים מוליכים למחצה כגון סיליקון וסיליקון קרביד, ציפוי פיזור חום של מכשירים, אלקטרודת יהלומים מוליכים מסוממים בבור, חיטוי אוזון של מים אלקטרוליטים או טיפול בשפכים.