1) למטרות גליליות יש שיעור ניצול גבוה יותר ממטרות מישוריות.בתהליך הציפוי, בין אם מדובר בסוג מגנטי סיבובי ובין אם מדובר במטרת קפיצה גלילית מסוג צינור סיבובי, כל חלקי פני השטח של צינור המטרה עוברים ברציפות דרך אזור הקיזוז שנוצר מול המגנט הקבוע כדי לקבל קימוץ קתודה, וה ניתן לחרוט את המטרה בצורה אחידה, ושיעור ניצול היעד גבוה.שיעור הניצול של חומרי היעד הוא כ-80% ~ 90%.
2) מטרות גליליות לא יהיו קלות לייצר "הרעלת מטרה".במהלך תהליך הציפוי, פני השטח של צינור המטרה תמיד מקוטעים ונחרטים על ידי יונים, ולא קל לצבור תחמוצות עבות וסרטי בידוד אחרים על פני השטח, ולא קל לייצר "הרעלת מטרה".
3) המבנה של מטרת הקפיצה הגלילית מסוג צינור המטרה הסיבובי הוא פשוט וקל להתקנה.
4) לחומר צינור המטרה הגלילי יש סוגים שונים.מטרה מישורית עם מטרת מתכת קירור מים ישיר, וחלקן לא ניתנות לעיבוד וליצור מטרות גליליות, כגון יעד In2-SnO2 וכו' עם חומר אבקה ללחיצה איזוסטטית חמה להשגת מטרות דמויות צלחת, מכיוון שלא ניתן לבצע את הגודל גדול ושביר, לכן יש צורך להשתמש בשיטת הלחמה ובלוח אחורי נחושת כדי לשלב ולאחר מכן להתקין על בסיס היעד.בנוסף לצינורות מתכת, ניתן לרסס מטרות עמודים על פני השטח של צינורות נירוסטה בחומרים שונים שיש לציפוי כמו Si, Cr וכו'.
כיום, שיעור המטרות הגליליות לציפוי בייצור תעשייתי הולך וגדל.מטרות גליליות משמשות לא רק עבור מכונת הציפוי האנכית, אלא גם במכונת הציפוי מגלגל לגלגול.בשנים האחרונות, המטרות התאומות המישוריות מוחלפות בהדרגה במטרות התאומות הגליליות.
מאמר זה פורסם על ידי Guangdong Zhenhua Technology, איצרן מכונות ציפוי אופטי.
זמן פרסום: מאי-11-2023