מאפיינים של ציוד ציפוי CVD

לטכנולוגיית ציפוי CVD יש את המאפיינים הבאים:

1. פעולת התהליך של ציוד CVD היא פשוטה וגמישה יחסית, והיא יכולה להכין סרטים בודדים או מרוכבים וסרטי סגסוגת עם פרופורציות שונות;

2. לציפוי CVD יש מגוון רחב של יישומים, וניתן להשתמש בו להכנת ציפויי מתכת או סרטי מתכת שונים;

3. יעילות ייצור גבוהה עקב קצבי השקיעה הנעים בין כמה מיקרונים למאות מיקרונים לדקה;

4. בהשוואה לשיטת PVD, ל-CVD ביצועי עקיפה טובים יותר והוא מתאים מאוד לציפוי מצעים בעלי צורות מורכבות, כגון חריצים, חורים מצופים ואפילו מבני חורים עיוורים.הציפוי יכול להיות מצופה לסרט עם דחיסות טובה.בשל הטמפרטורה הגבוהה במהלך תהליך יצירת הסרט, וההידבקות החזקה על ממשק מצע הסרט, שכבת הסרט יציבה מאוד

5. הנזק הנגרם מקרינה נמוך יחסית וניתן לשילוב עם תהליכי מעגלים משולבים של MOS.

- מאמר זה פורסם על ידי גואנגדונג ז'נהואה, איצרן מכונות ציפוי ואקום