מאפיינים של סרטי ציפוי מקרטעים

① יכולת שליטה טובה וחזרה על עובי הסרט

האם ניתן לשלוט בעובי הסרט בערך שנקבע מראש נקראת שליטה בעובי הסרט.ניתן לחזור על עובי הסרט הנדרש פעמים רבות, מה שנקרא עובי סרט חוזר. מכיוון שניתן לשלוט בנפרד על זרם הפריקה וזרם היעד של ציפוי מקרטעת ואקום.לכן, העובי של הסרט המקרטע ניתן לשליטה, וניתן להפקיד את הסרט בעובי שנקבע מראש באופן אמין.בנוסף, ציפוי הקפיצה יכול לקבל סרט בעל עובי אחיד על משטח גדול.

② הידבקות חזקה בין הסרט למצע

האנרגיה של אטומים מקרטעים גבוהה ב-1-2 סדרי גודל מזו של אטומים שהתאדו.המרת האנרגיה של האטומים המקרזים עתירי האנרגיה המופקדים על המצע גבוהה בהרבה מזו של האטומים המאודים, מה שיוצר חום גבוה יותר ומשפר את ההיצמדות בין האטומים המקרזים למצע.בנוסף, כמה אטומים מקרזים בעלי אנרגיה גבוהה מייצרים דרגות שונות של הזרקה, ויוצרים שכבת פסאודיפוזיה על המצע.בנוסף, המצע תמיד מנוקה ומופעל באזור הפלזמה בתהליך יצירת הסרט, מה שמסיר את האטומים המקרטעים בהדבקה חלשה, ומטהר ומפעיל את פני המצע.לכן, לסרט המקרטע יש הידבקות חזקה למצע.

③ ניתן להכין סרט חומר חדש שונה מהמטרה

אם גז תגובתי מוכנס במהלך הקפיצה כדי לגרום לו להגיב עם המטרה, ניתן לקבל סרט חומר חדש שונה לחלוטין מהמטרה.לדוגמה, סיליקון משמש כמטרה לקריזה, וחמצן וארגון מוכנסים יחד לתא הוואקום.לאחר הקפיצה ניתן להשיג סרט בידוד SiOz.שימוש בטיטניום כמטרה לקריזה, חנקן וארגון מוכנסים יחד לתא הוואקום, וניתן להשיג את הסרט דמוי הזהב של שלב TiN לאחר הקפיצה.

④ טוהר גבוה ואיכות טובה של סרט

מכיוון שאין רכיב כור היתוך במכשיר הכנת סרט ההיתוך, מרכיבי חומר מחמם ההיתוך לא יתערבבו בשכבת הסרט המקרטעת.החסרונות של ציפוי מתסיס הם שמהירות יצירת הסרט היא איטית יותר מזו של ציפוי אידוי, טמפרטורת המצע גבוהה יותר, קל להיות מושפע מגז טומאה ומבנה המכשיר מורכב יותר.

מאמר זה פורסם על ידי Guangdong Zhenhua, יצרנית שלציוד ציפוי ואקום