כפי שכולנו יודעים, ההגדרה של מוליך למחצה היא שיש לו מוליכות בין מוליכים יבשים למבודדים, התנגדות בין מתכת למבודד, שהיא לרוב בטמפרטורת החדר היא בטווח של 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm.בשנים האחרונות, ציפוי מוליכים למחצה ואקום בחברות המוליכים למחצה הגדולות, ברור כי מעמדו גבוה יותר ויותר, במיוחד בחלק גדול בקנה מידה גדול של פיתוח מעגלים מערכת משולבת שיטות מחקר טכנולוגיות להתקני המרה מגנטואלקטרי, התקנים פולטי אור ועבודות פיתוח אחרות.לציפוי מוליכים למחצה ואקום יש תפקיד חשוב.
מוליכים למחצה מאופיינים על ידי המאפיינים הפנימיים שלהם, הטמפרטורה וריכוז הטומאה שלהם.חומרי ציפוי מוליכים למחצה בוואקום נבדלים זה מזה בעיקר על ידי התרכובות המרכיבות אותם.בערך כולם מבוססים על בורון, פחמן, סיליקון, גרמניום, ארסן, אנטימון, טלוריום, יוד וכו', וחלקם מעט יחסית של GaP, GaAs, lnSb וכו'. יש גם כמה מוליכים למחצה תחמוצת, כמו FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O וכו'.
אידוי ואקום, ציפוי מקרטעת, ציפוי יונים וציוד אחר יכולים לעשות ציפוי מוליכים למחצה בוואקום.כל ציוד הציפוי הזה שונה בעיקרון העבודה שלהם, אבל כולם מייצרים את חומר הציפוי המוליך למחצה המופקד על המצע, וכחומר של המצע, אין דרישה, זה יכול להיות מוליך למחצה או לא.בנוסף, ניתן להכין ציפויים בעלי תכונות חשמליות ואופטיות שונות הן על ידי דיפוזיה של זיהומים והן על ידי השתלת יונים על פני מצע המוליך למחצה בטווח.השכבה הדקה המתקבלת ניתנת לעיבוד גם כציפוי מוליכים למחצה באופן כללי.
ציפוי מוליכים למחצה ואקום הוא נוכחות הכרחית באלקטרוניקה בין אם מדובר במכשירים אקטיביים או פסיביים.עם התקדמות מתמשכת של טכנולוגיית ציפוי מוליכים למחצה בוואקום, התאפשרה שליטה מדויקת בביצועי הסרט.
בשנים האחרונות, ציפוי אמורפי וציפוי פולי-גבישי עשו התקדמות מהירה בייצור של מכשירים פוטו-מוליכים, צינורות מצופים באפקט שדה ותאים סולאריים בעלי יעילות גבוהה.בנוסף, בגלל הפיתוח של ציפוי מוליכים למחצה ואקום והסרט הדק של חיישנים, שגם מפחית באופן מהותי את הקושי בבחירת החומר והופך את תהליך הייצור לפשוט בהדרגה.ציוד ציפוי מוליכים למחצה בוואקום הפך לנוכחות הכרחית עבור יישומי מוליכים למחצה.הציוד נמצא בשימוש נרחב לציפוי מוליכים למחצה של מכשירי מצלמה, תאים סולאריים, טרנזיסטורים מצופים, פליטת שדה, אור קתודה, פליטת אלקטרונים, אלמנטים של חישת סרט דק וכו'.
קו ציפוי הקזת מגנטרון מעוצב עם מערכת בקרה אוטומטית מלאה, ממשק מסך מגע נוח ואינטואיטיבי בין אדם למכונה.הקו מתוכנן עם תפריט פונקציות שלם כדי להשיג ניטור מלא של מצב הפעולה עבור כל רכיבי קו הייצור, הגדרת פרמטרים של תהליך, הגנת פעולה ופונקציות אזעקה.כל מערכת הבקרה החשמלית בטוחה, אמינה ויציבה.מצויד במטרה מקרטעת מגנטרון דו צדדית עליון ותחתון או מערכת ציפוי חד צדדית.
הציוד מיושם בעיקר על מעגלים קרמיים, קבלים במתח גבוה שבבים וציפוי מצע אחר, אזורי היישום העיקריים הם מעגלים אלקטרוניים.
זמן פרסום: נובמבר-07-2022