גורמים המשפיעים על הביצועים של ציפוי אידוי ואקום

1. קצב האידוי ישפיע על תכונות הציפוי המאוד

לקצב האידוי יש השפעה רבה על הסרט המופקד.מכיוון שמבנה הציפוי הנוצר על ידי קצב שיקוע נמוך הוא רופף וקל לייצור שקיעת חלקיקים גדולים, בטוח מאוד לבחור בקצב אידוי גבוה יותר כדי להבטיח את הקומפקטיות של מבנה הציפוי.כאשר לחץ הגז שיורי בתא הוואקום קבוע, קצב ההפצצה של המצע הוא ערך קבוע.לכן, שיורית הגז הכלול בסרט שהופקד לאחר בחירת קצב שיקוע גבוה יותר יופחת, ובכך תפחית את התגובה הכימית בין מולקולות הגז השיוריות לחלקיקי הסרט המתאדה.לכן, ניתן לשפר את הטוהר של הסרט שהופקד.יש לציין שאם קצב השקיעה מהיר מדי, זה עלול להגביר את הלחץ הפנימי של הסרט, זה יגדיל את הפגמים בסרט, ואף יוביל לקרע של הסרט.בפרט, בתהליך של ציפוי אידוי תגובתי, על מנת לגרום לגז התגובה להגיב במלואו עם החלקיקים של חומר סרט האידוי, ניתן לבחור קצב שיקוע נמוך יותר.כמובן, חומרים שונים בוחרים בשיעורי אידוי שונים.כדוגמה מעשית - השקעת הסרט הרפלקטיבי, אם עובי הסרט הוא 600×10-8 ס"מ וזמן האידוי הוא 3 שניות, ההשתקפות היא 93%.עם זאת, אם קצב האידוי מואט באותו תנאי עובי, זה לוקח 10 דקות כדי להשלים את שקיעת הסרט.בשלב זה, עובי הסרט זהה.עם זאת, הרפלקטיביות ירדה ל-68%.

2. הטמפרטורת התחתון תשפיע על ציפוי האידוי

לטמפרטורת המצע יש השפעה רבה על ציפוי האידוי.קל להסיר את מולקולות הגז שאריות הנספגות על פני המצע בטמפרטורת המצע הגבוהה.במיוחד חיסול מולקולות אדי מים חשוב יותר.יתרה מכך, בטמפרטורות גבוהות יותר, לא רק קל לקדם את המעבר מספיחת פיזיקלית לספיחה כימית, ובכך להגביר את כוח הקישור בין חלקיקים.יתר על כן, זה יכול גם להפחית את ההבדל בין טמפרטורת ההתגבשות מחדש של מולקולות אדים לטמפרטורת המצע, ובכך להפחית או לבטל את הלחץ הפנימי על הממשק מבוסס הסרט.בנוסף, מכיוון שטמפרטורת המצע קשורה למצב הגבישי של הסרט, לעתים קרובות קל ליצור ציפויים אמורפיים או מיקרו-גבישיים במצב של טמפרטורת מצע נמוכה או ללא חימום.להיפך, כאשר הטמפרטורה גבוהה, קל ליצור ציפוי גבישי.הגדלת טמפרטורת המצע תורמת גם לשיפור התכונות המכניות של הציפוי.כמובן, טמפרטורת המצע לא צריכה להיות גבוהה מדי כדי למנוע אידוי של הציפוי.

3. לחץ גז שיורי בתא ואקום ישפיע על תכונות הסרט

ללחץ של גז שיורי בתא הוואקום יש השפעה רבה על ביצועי הממברנה.למולקולות הגז השיוריות בלחץ גבוה מדי, לא רק שקל להתנגש בחלקיקים המתאדים, מה שיפחית את האנרגיה הקינטית של האנשים על המצע וישפיע על הידבקות הסרט.בנוסף, לחץ גז שיורי גבוה מדי ישפיע ברצינות על טוהר הסרט ויפחית את ביצועי הציפוי.

4. השפעת טמפרטורת האידוי על ציפוי האידוי

השפעת טמפרטורת האידוי על ביצועי הממברנה מוצגת על ידי השינוי בקצב האידוי עם הטמפרטורה.כאשר טמפרטורת האידוי גבוהה, חום האידוי יקטן.אם חומר הממברנה מתאדה מעל טמפרטורת האידוי, אפילו שינוי קל בטמפרטורה יכול לגרום לשינוי חד בקצב האידוי של חומר הממברנה.לכן, חשוב מאוד לשלוט בטמפרטורת האידוי במדויק במהלך השקת הסרט כדי למנוע שיפוע טמפרטורה גדול כאשר מקור האידוי מחומם.עבור חומר הסרט שקל לבצע סובלימציה, חשוב מאוד גם לבחור את החומר עצמו כמחמם לאידוי ולאמצעים נוספים.

5. מצב הניקוי של המצע ותא הציפוי ישפיע על ביצועי הציפוי

לא ניתן להתעלם מהשפעת ניקיון המצע ותא הציפוי על ביצועי הציפוי.זה לא רק ישפיע ברצינות על טוהר הסרט שהופקד, אלא גם יפחית את ההידבקות של הסרט.לכן, טיהור המצע, טיפול הניקוי של תא ציפוי הוואקום והרכיבים הנלווים אליו (כגון מסגרת המצע) והסרת הגזים פני השטח הם כולם תהליכים הכרחיים בתהליך ציפוי הוואקום.