טכנולוגיית ה-hot arc הפלזמה המשופרת של שקיעת אדים כימית משתמשת באקדח קשת התיל החם כדי לפלוט פלזמה של קשת, המקוצר כטכנולוגיית PECVD arc hot wire.טכנולוגיה זו דומה לטכנולוגיית ציפוי יונים של אקדח תיל חם, אך ההבדל הוא שהסרט המוצק המתקבל על ידי ציפוי יונים של אקדח קשת חם משתמש בזרימת האלקטרונים של אור הקשת הנפלט על ידי אקדח קשת התיל החם כדי לחמם ולאדות את המתכת פנימה. כור ההיתוך, בעוד שאור הקשת החם PECVD מוזן בגזי תגובה, כגון CH4 ו- H2, המשמשים להנחת סרטי יהלום.על ידי הסתמכות על זרם פריקת הקשת בצפיפות גבוהה הנפלט על ידי אקדח קשת התיל החם, יוני הגז התגובתיים מתרגשים להשיג חלקיקים פעילים שונים, כולל יוני גז, יוני אטומיים, קבוצות פעילות וכן הלאה.
במכשיר PECVD של קשת תיל חמה, שני סלילים אלקטרומגנטיים עדיין מותקנים מחוץ לחדר הציפוי, מה שגורם לזרימת האלקטרונים בצפיפות גבוהה להסתובב במהלך התנועה לכיוון האנודה, מה שמגדיל את ההסתברות להתנגשות ויינון בין זרימת האלקטרונים לגז התגובה. .הסליל האלקטרומגנטי יכול גם להתכנס לתוך עמודת קשת כדי להגדיל את צפיפות הפלזמה של תא השקיעה כולו.בפלזמה של קשת, הצפיפות של חלקיקים פעילים אלה גבוהה, מה שמקל על הפקדת סרטי יהלום ושכבות סרטים אחרות על חומר העבודה.
מאמר זה פורסם על ידי Guangdong Zhenhua Technology, איצרן מכונות ציפוי אופטי.
זמן פרסום: מאי-05-2023