מבוא לטכניקות קונבנציונליות להנחת ציפויים קשים

1. טכנולוגיית CVD תרמית

ציפויים קשים הם לרוב ציפויים קרמיים מתכתיים (TiN וכו'), שנוצרים מתגובת מתכת בציפוי וגיזוז תגובתי.בתחילה, נעשה שימוש בטכנולוגיית ה-CVD התרמית כדי לספק את אנרגיית ההפעלה של תגובה משולבת על ידי אנרגיה תרמית בטמפרטורה גבוהה של 1000 ℃.טמפרטורה זו מתאימה רק להנחת TiN וציפויים קשים אחרים על כלי קרביד מוצק.עד כה, זו עדיין טכנולוגיה חשובה להפקיד ציפויים מרוכבים TiN-Al20 על ראשי כלי קרביד מוצק.

2. ציפוי יונים קתודיות חלול וציפוי יוני קשת חוט חם

בשנות ה-80 נעשה שימוש בציפוי יונים קתודיות חלולים ובציפוי יונים של קשת חוט חם להפקדת כלי חיתוך מצופים.שתי טכנולוגיות ציפוי יונים אלו הן טכנולוגיות ציפוי יונים עם פריקת קשת, עם שיעור יינון מתכת של עד 20%~40%.

3. ציפוי יון קשת קתודה

הופעתו של ציפוי יוני קשת קתודי הובילה לפיתוח הטכנולוגיה של הנחת ציפויים קשים על תבניות.קצב היינון של ציפוי יוני קשת קתודי הוא 60%~90%, מה שמאפשר למספר רב של יוני מתכת ויוני גז תגובה להגיע אל פני השטח של חומר העבודה ועדיין לשמור על פעילות גבוהה, וכתוצאה מכך לשקיעה בתגובה והיווצרות ציפויים קשים כגון פַּח.כיום, טכנולוגיית ציפוי יוני קשת קתודי משמשת בעיקר להנחת ציפויים קשים על תבניות.

מקור קשת הקתודה הוא מקור אידוי במצב מוצק ללא בריכה מותכת קבועה, וניתן למקם את מיקום מקור הקשת באופן שרירותי, לשפר את קצב ניצול החלל של חדר הציפוי ולהגדיל את יכולת העמסת התנור.הצורות של מקורות קשת קתודית כוללות מקורות קשת קתודה עגולים קטנים, מקורות קשת עמודים ומקורות קשת גדולה שטוחה מלבנית.ניתן לארגן בנפרד רכיבים שונים של מקורות קשת קטנים, מקורות קשת עמודים ומקורות קשת גדולים להפקדת סרטים רב-שכבתיים וסרטי ננו רב-שכבתיים.בינתיים, בשל קצב יינון המתכת הגבוה של ציפוי יוני קשת קתודי, יוני מתכת יכולים לספוג יותר גזי תגובה, וכתוצאה מכך טווח תהליכים רחב ותפעול פשוט להשגת ציפויים קשיחים מצוינים.עם זאת, יש טיפות גסות במבנה המיקרו של שכבת הציפוי המתקבלת על ידי ציפוי יון קשת קתודי.בשנים האחרונות צצו טכנולוגיות חדשות רבות לחידוד מבנה שכבת הסרט, מה ששיפר את איכות הסרט ציפוי יון קשת.

מאמר זה פורסם על ידי Guangdong Zhenhua Technology, איצרן מכונות ציפוי אופטי.