תהליך פילמור ישיר בפלזמה

תהליך פילמור ישיר בפלזמה

תהליך פילמור פלזמה הוא פשוט יחסית הן עבור ציוד פילמור אלקטרודות פנימי והן עבור ציוד פילמור אלקטרודות חיצוני, אך בחירת פרמטרים חשובה יותר בפילמור פלזמה, מכיוון שלפרמטרים יש השפעה רבה יותר על המבנה והביצועים של סרטי פולימר במהלך פילמור פלזמה.

שלבי הפעולה עבור פילמור פלזמה ישיר הם כדלקמן:

(1) שאיבת אבק

יש לשאוב את ואקום הרקע של פילמור בתנאי ואקום ל-1.3×10-1Pa.עבור תגובות פילמור הדורשות דרישות מיוחדות לשליטה בתכולת החמצן או החנקן, דרישת ואקום הרקע גבוהה אף יותר.

(2) מונומר תגובת מטען או גז מעורב של גז נשא ומונומר

דרגת הוואקום היא 13-130Pa.עבור פילמור פלזמה הדורש עבודה, ייבחר מצב בקרת זרימה וקצב זרימה מתאים, בדרך כלל 10.100 מ"ל/דקה.בפלזמה, מולקולות מונומר מיוננות ומתפרקות על ידי הפצצה של חלקיקים אנרגטיים, וכתוצאה מכך נוצרים חלקיקים פעילים כגון יונים וגנים פעילים.החלקיקים הפעילים המופעלים על ידי פלזמה יכולים לעבור פילמור פלזמה בממשק של פאזה גז ופאזה מוצקה.המונומר הוא מקור המבשר לפילמור פלזמה, ולגז התגובה המבוא ולמונומר יהיה טוהר מסוים.

(3) בחירת ספק כוח עירור

ניתן להפיק פלזמה באמצעות מקורות מתח DC, תדר גבוה, RF או מיקרוגל כדי לספק סביבת פלזמה לפילמור.בחירת ספק הכוח נקבעת על סמך הדרישות למבנה ולביצועים של הפולימר.

(4) בחירת מצב פריקה

עבור דרישות פולימר, פילמור פלזמה יכול לבחור בשני מצבי פריקה: פריקה רציפה או פריקה דופק.

(5) בחירת פרמטרי פריקה

בעת ביצוע פילמור פלזמה, יש לקחת בחשבון פרמטרים של פריקה מפרמטרי פלזמה, תכונות פולימר ודרישות מבנה.גודל הכוח המופעל במהלך פילמור נקבע על ידי נפח תא הוואקום, גודל האלקטרודה, קצב זרימת מונומר ומבנה, קצב פילמור ומבנה וביצועי הפולימר.לדוגמה, אם נפח תא התגובה הוא 1L ומאומץ פילמור פלזמה RF, הספק הפריקה יהיה בטווח של 10~30W.בתנאים כאלה, הפלזמה שנוצרת יכולה להצטבר ליצירת סרט דק על פני השטח של חומר העבודה.קצב הצמיחה של סרט פילמור פלזמה משתנה בהתאם לאספקת החשמל, סוג המונומר וקצב הזרימה, ותנאי התהליך.בדרך כלל, קצב הצמיחה הוא 100nm/min ~ 1um/min.

(6) מדידת פרמטרים בפילמור פלזמה

פרמטרי הפלזמה ופרמטרי התהליך שיש למדוד בפילמור פלזמה כוללים: מתח פריקה, זרם פריקה, תדירות פריקה, טמפרטורת אלקטרונים, צפיפות, סוג וריכוז קבוצת תגובה וכו'.

מאמר זה פורסם על ידי Guangdong Zhenhua Technology, איצרן מכונות ציפוי אופטי.