זרימת תהליך של מכונת ציפוי מקרטעת

1. מצע לניקוי הפצצות

1.1) מכונת ציפוי מקרטעת משתמשת בפריקת זוהר לניקוי המצע.כלומר, טען את גז הארגון לתוך התא, מתח הפריקה הוא סביב 1000V, לאחר הפעלת ספק הכוח נוצרת פריקת זוהר, והמצע מנוקה על ידי הפצצת יוני ארגון.

1.2) במכונות ציפוי מקרטעות המייצרות קישוטים מתקדמים, יוני טיטניום הנפלטים ממקורות קשת קטנים משמשים בעיקר לניקוי.מכונת הציפוי המקרטעת מצוידת במקור קשת קטן, וזרם יוני הטיטניום בפלזמת הקשת שנוצר על ידי פריקת מקור הקשת הקטנה משמש להפצצה ולניקוי המצע.

2. ציפוי טיטניום ניטריד

בעת הפקדת סרטים דקים טיטניום ניטריד, חומר המטרה לקפיצה הוא יעד טיטניום.חומר המטרה מחובר לאלקטרודה השלילית של ספק הכוח המקרטעת, ומתח המטרה הוא 400 ~ 500V;שטף הארגון קבוע, ואקום הבקרה הוא (3~8) x10^-1הרשות הפלסטינית.המצע מחובר לאלקטרודה השלילית של ספק הכוח ההטיה, עם מתח של 100~200V.

לאחר הפעלת אספקת הכוח של מטרת הטיטניום המקרטעת, נוצרת פריקת זוהר, ויוני ארגון עתירי אנרגיה מפציצים את מטרת הקריז, ומקרזים אטומי טיטניום מהמטרה.

חנקן גז התגובה מוכנס, ואטומי הטיטניום והחנקן מיוננים ליוני טיטניום ויוני חנקן בתא הציפוי.תחת המשיכה של השדה החשמלי השלילי המופעל על המצע, יוני טיטניום ויוני חנקן מאיצים אל פני המצע לצורך תגובה כימית ותצהיר ליצירת שכבת סרט טיטניום ניטריד.

3. מוציאים את המצע

לאחר הגעה לעובי הסרט שנקבע מראש, כבה את אספקת החשמל המקרטעת, אספקת המתח של הטיית המצע ומקור האוויר.לאחר שטמפרטורת המצע נמוכה מ-120 ℃, מלאו את תא הציפוי באוויר והוציאו את המצע.

מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי מקרטעת מגנטרון- גואנגדונג ז'נהואה.