תהליך של ציפוי יון קתודה חלול

התהליך של ציפוי יון קתודה חלול הוא כדלקמן:

1、הכנס את מטילי הסנטר בקריסה.

2、הרכבת חומר העבודה.

3、לאחר פינוי ל-5×10-3Pa, גז ארגון מוכנס לתא הציפוי מצינור הכסף, ורמת הוואקום היא סביב 100Pa.

4、הפעל את כוח ההטיה.

5、לאחר הפעלת כוח הקשת כדי להצית את פריקת הקתודה החלולה. פריקת הזוהר נוצרת בצינור הכפתור, מתח הפריקה הוא 800~1000V, זרם העלאת הקשת הוא 30~50A. עקב אפקט הקתודה החלולה של זוהר פריקה, צפיפות זרם פריקת זוהר גבוהה, הצפיפות הגבוהה של יוני החולדות בצינור הכסף מפגיזה את דופן צינור התצפית, לגרום לקיר הצינור להתחמם במהירות לפליטת זרימת אלקטרונים, מצב הפריקה מפריקת הזוהר שינוי פתאומי ל פריקת קשת, המתח הוא 40~70V, הזרם הוא 80~300A. טמפרטורת צינור הכסף מגיעה מעל 2300K, ליבון, פולטת זרם צפיפות גבוהה של אלקטרוני קשת מהצינור, ונורה אל האנודה.

6, התאמה של רמת הוואקום. רמת הוואקום לפריקת זוהר מאקדח קתודה חלול היא בערך 100 Pa, ודרגת הוואקום של הציפוי היא 8×10-1 ~ 2Pa. גז בהקדם האפשרי, התאם את רמת הוואקום לטווח המתאים לציפוי.

7, שכבת בסיס בציפוי טיטניום. זרימת אלקטרונים על מטיל מתכת הסנטר שהתמוטט בצורה אנודית, המרת אנרגיה קינטית לאנרגיה תרמית, אידוי של מתכת סנטר על ידי חימום, אטומי אדים מגיעים לחומר העבודה ליצירת סרט טיטניום.

8、השקעת TiN. גז חנקן מסופק לתא הציפוי, גז חנקן ואטומים מתאדים מיוננים ליוני חנקן וטיטניום. מעל כור ההיתוך, סבירות גבוהה יותר להתנגשויות לא אלסטיות של אטומי אדי טיטניום עם זרמים צפופים של אלקטרונים בעלי אנרגיה נמוכה, קצב ניתוק המתכות גבוה כמו 20%~40%., יש סיכוי גבוה יותר שיוני טיטניום יגיבו כימית עם חנקן גז התגובה, השקיעה להשגת שכבת סרט מעטפת ניטריד. אקדח הקתודה החלול הוא גם מקור אידוי, מקור נוסף של יינון. במהלך הציפוי, יש להתאים גם את הזרם של הסליל האלקטרומגנטי סביב כור ההיתוך, למקד את אלומת האלקטרונים למרכז הקריסה, לפיכך, צפיפות ההספק של זרימת האלקטרונים מוגברת.

9、כיבוי. לאחר שעובי הסרט מגיע לעובי הסרט שנקבע מראש, כבה את אספקת החשמל של קשת、 אספקת כוח ואספקת אוויר מוטה.