ציפוי יונים בוואקום (בקיצור ציפוי יונים) היא טכנולוגיה חדשה לטיפול במשטח שפותחה במהירות בשנות ה-70, שהוצעה על ידי DM Mattox מחברת Somdia בארצות הברית בשנת 1963. היא מתייחסת לתהליך השימוש במקור אידוי או בקילוח. מטרה לאדות או לקרטט את חומר הסרט באווירת הוואקום.
הראשון הוא ליצור אדי מתכת על ידי חימום ואידוי חומר הסרט, המיונן חלקית לאדי מתכת ואטומים ניטרליים עתירי אנרגיה בחלל הפלזמה של פריקת הגז, ומגיע למצע כדי ליצור סרט באמצעות פעולת השדה החשמלי ;האחרון משתמש ביונים באנרגיה גבוהה (לדוגמה, Ar+) מפציץ את פני השטח של חומר הסרט כך שהחלקיקים המקרזים מיוננים ליונים או לאטומים ניטרליים בעלי אנרגיה גבוהה דרך חלל פריקת הגז, ומממשים את פני המצע. ליצור סרט.
מאמר זה פורסם על ידי Guangdong Zhenhua, יצרנית שלציוד ציפוי ואקום
זמן פרסום: מרץ-10-2023