הציוד ציפוי ואקוםמורכב מחלקים רבים ומדויקים, המיוצרים בתהליכים רבים, כגון ריתוך, שחיקה, חריטה, הקצעה, קעמום, כרסום וכן הלאה.בגלל עבודות אלה, פני השטח של חלקי הציוד יהיו מזוהמים בהכרח עם כמה מזהמים כגון שומן, לכלוך שמן, שבבי מתכת, שטף ריתוך, משחת ליטוש, סימני זיעה וכן הלאה.מזהמים אלו קלים להנדיף בתנאי ואקום, ובכך משפיעים על הוואקום האולטימטיבי של הציוד.
בנוסף, מזהמי ואקום אלו מעיבוד מכני סופגים כמות גדולה של גז בסביבת הלחץ האטמוספרי, ובמצב ואקום, גם גזים אלו שנספגו בעבר ישוחררו שוב, ויהפכו לגורם מרכזי המגביל את הוואקום המגביל.מסיבה זו, יש להסיר את המזהמים לפני הרכבת חלקי מכונת ציפוי הוואקום.
במהלך השימוש בציוד ואקום, גם מרכיביו יזוהמו.עם זאת, הזיהום ממקור זה נגרם בעיקר מתנאי השימוש ומשאבת ואקום.
1. אידוי חוט הנימה של מד הוואקום בתנאי טמפרטורה גבוהים יוביל להיווצרות סרט על המבודד הקרמי, שיפגע בחוזק הבידוד שלו במידה מסוימת, ויש לו גם השפעה מסוימת על הדיוק שלו. מדידה;
2. עקב אידוי בטמפרטורה גבוהה, יווצר סרט מתכת על פני השטח ליד חוט הלהט של אקדח האלקטרונים בוואקום;
3. עקב התזת חלקי העבודה, הקיר הפנימי של ציוד תחריט קרן יונים יהיה מזוהם על ידי התזות;
4. הקיר הפנימי של ציוד ציפוי אידוי ואקום יהיה מזוהם בחומר יעד האידוי שלו;
5. לעתים קרובות נעשה שימוש במערכת ייבוש ואקום, והמערכת תהיה מזוהמת על ידי החומרים המאודים;
6. שמן משאבת הדיפוזיה ושמן המשאבה המכאנית בציוד ציפוי הוואקום הם גם מקור מרכזי לזיהום.לאחר שמכונת הציפוי עבדה במשך זמן רב, עלול להיווצר שכבת שמן בתוך הציוד.
לסיכום, תברואה בוואקום של ציוד כוללת ציוד ואקום, מערכת ואקום, ייצור תהליך ואקום ועוד היבטים וקישורים, כמו גם הדרישות של ציוד ציפוי הוואקום עצמו ותהליך ואקום מיוחד על תנאי השימוש.לכן, זיהום ואקום הוא בעיה הראויה לתשומת לב, מכיוון שזיהומים אלו ישפיעו על ביצועי הציוד, ויש לשים לב לניקיון קבוע או בכל עת.
זמן פרסום: 21-2-2023