הציוד מאמץ בעיקר שקיעת אדים כימית להכנת סרט תחמוצת, בעל המאפיינים של קצב השקיעה מהיר ואיכות סרט גבוהה.באשר למבנה הציוד, מבנה הדלת הכפולה משמש לשיפור יעילות ההידוק, ומערכת אספקת הגז הנוזלית העדכנית מאומצת כדי להבטיח זרימה יציבה וניתנת לשליטה ולהבטיח ביעילות את יציבות התהליך.לסרט שהוכן על ידי הציוד יש מחסום אדי מים טוב ותקופה יציבה ארוכה יותר בבדיקת רתיחה.
ניתן ליישם את הציוד על נירוסטה, חלקי חומרה/פלסטיק מצופים אלקטרו, זכוכית, קרמיקה וחומרים אחרים, כגון מוצרים אלקטרוניים, חרוזי אור LED, ציוד רפואי ומוצרים אחרים הזקוקים לעמידות חמצון.סרט מחסום SiOx מוכן בעיקר כדי לחסום ביעילות אדי מים, למנוע קורוזיה וחמצון ולשפר את חיי המוצר.
דגמים אופציונליים | גודל החדר הפנימי |
ZHCVD1200 | φ1200*H1950(מ"מ) |