מקרטעת מגנטרונים וטכנולוגיה מרוכבת של ציפוי יונים קתודי רב-קשת

ציוד ציפוי מרוכב של קיצוץ מגנטרון וציפוי יונים רב-קשתות קתודי יכול לעבוד בנפרד ובו-זמנית;ניתן להפקיד ולהכין סרט מתכת טהור, סרט מתכת מורכב או סרט מרוכב;יכול להיות שכבה אחת של סרט וסרט מרוכב רב-שכבתי.

יתרונותיו כדלקמן:
הוא לא רק משלב את היתרונות של ציפויי יונים שונים ולוקח בחשבון את ההכנה וההפקדה של סרט דק לתחומי יישום שונים, אלא גם מאפשר השקה והכנה של סרטים מונוליטיים רב-שכבתיים או סרטים מרוכבים רב-שכבתיים באותו ואקום תא ציפוי בבת אחת.
היישומים של שכבות סרט מופקדות נמצאים בשימוש נרחב הטכנולוגיות שלה הן במגוון צורות, האופייניות להלן:
(1) התרכובת של קיצוץ מגנטרונים ללא שיווי משקל וטכנולוגיית ציפוי יונים קתודיים.
המכשיר שלו מוצג כדלקמן.זהו ציוד ציפוי מורכב של מטרת מגנטרון עמודה וציפוי יוני קשת קתודי מישוריים, המתאים הן לציפוי תרכובת לציפוי כלים והן לציפוי סרט דקורטיבי.עבור ציפוי כלי, ציפוי יוני הקשת הקתודי משמש תחילה עבור ציפוי שכבת הבסיס, ולאחר מכן מטרת המגנטרון העמודה משמשת לתצהיר ניטריד ושכבות סרטים אחרות כדי להשיג סרט משטח כלי עיבוד ברמת דיוק גבוהה.
עבור ציפוי דקורטיבי, ניתן להפקיד סרטים דקורטיביים TiN ו-ZrN על ידי ציפוי קשת קתודי תחילה, ולאחר מכן לסומם במתכת באמצעות מטרות מגנטרון, ואפקט הסימום טוב מאוד.

(2) התרכובת של טכניקות ציפוי יונים קשתות של מגנוטונים תאומי מישור וקתודה.המכשיר מוצג כדלקמן.הוא משמש בטכנולוגיה המתקדמת של מטרות תאומות, כאשר שתי מטרות תאומות זו לצד זו המקושרות לאספקת הכוח בתדר הבינוני, היא לא רק מתגברת על הרעלת מטרות של קיצוץ DC, אש וחסרונות אחרים;ויכול להפקיד Al203, סרט באיכות תחמוצת SiO2, כך שעמידות החמצון של החלקים המצופים גדלה והשתפרה.יעד רב-קשת עמודי מותקן במרכז תא הוואקום, ניתן להשתמש בחומר המטרה Ti ו-Zr, לא רק כדי לשמור על היתרונות של קצב פירוק רב-קשת גבוה, קצב השקיעה, אלא גם יכול להפחית ביעילות "טיפות" ב התהליך של תצהיר מטרה רב-קשתית במטוס קטן, יכול להפקיד ולהכין נקבוביות נמוכה של סרטי מתכת, סרטים מורכבים.אם משתמשים ב-Al ו-Si כחומרי היעד למטרות המגנטרון התאום המישוריות המותקנות בפריפריה, ניתן להפקיד ולהכין סרטי מתכת-קרמיקה Al203 או Si0.בנוסף, ניתן להתקין מספר מטוסים קטנים של מקור אידוי רב-קשתות בפריפריה, וחומר המטרה שלו יכול להיות Cr או Ni, וניתן להפקיד ולהכין סרטי מתכת וסרטים מרוכבים רב-שכבתיים.לכן, טכנולוגיית ציפוי מרוכב זו היא טכנולוגיית ציפוי מרוכב עם יישומים מרובים.