この装置は電子ビーム蒸着技術を採用しています。電子は陰極フィラメントから放出され、特定のビーム電流に集中します。このビーム電流は陰極とるつぼの間の電位によって加速され、コーティング材料を溶融および蒸発させます。エネルギー密度が高いという特徴があり、融点3000℃以上の塗料を蒸発させることができます。膜の純度が高く、熱効率が高い。
電子ビーム蒸着源、イオン源、膜厚モニタリングシステム、膜厚補正機構、安定アンブレラワーク回転機構を備えています。イオン源を利用したコーティングにより、膜の緻密性が高まり、屈折率が安定し、湿気による波長シフト現象が回避されます。全自動膜厚リアルタイム監視システムにより、プロセスの再現性と安定性を確保できます。自己溶解機能を搭載しており、作業者のスキル依存度を軽減します。
この装置は、さまざまな酸化物および金属コーティング材料に適用でき、ARフィルム、長波長パス、短波長パス、ブライトニングフィルム、AS / AFフィルム、IRCUT、カラーフィルムシステムなどの多層精密光学フィルムのコーティングが可能です、勾配フィルムシステムなど。ARグラス、光学レンズ、カメラ、光学レンズ、フィルター、半導体産業などで広く使用されています。