装置のカソードは、フロントコイルと永久磁石の重ね合わせのデュアルドライブ技術を採用し、アノード層イオン源エッチングシステムと3次元マルチアングル治具と連携して、マルチステーション同時作業を実現します。大電流の使用条件下で大口径の陰極アークを装備し、陰極アークは優れた冷却性能、速いアークスポット移動速度、高いイオン化率、速い蒸着速度を備え、より緻密で滑らかなコーティングとそのコーティングを効率的に蒸着できます。耐酸化性と耐高温性においてより重要な利点があります。
この装置は、AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN およびその他の高温超硬質コーティングでコーティングすることができ、マイクロドリル、フライス、タップ、棒状工具、自動車部品、医療機器などで広く使用されています。田畑。
コーティング特性の例:
コーティング | 厚さ (μm) | 硬度(HV) | 最高温度(℃) | 色 | 応用 |
た~C | 1-2.5 | 4000-6000 | 400 | 黒 | グラファイト、カーボンファイバー、複合材料、アルミニウムおよびアルミニウム合金 |
TiSiN | 1-3 | 3500 | 900 | ブロンズ | 55-60HRC ステンレス鋼の切断、精密仕上げ |
アルティンC | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | 青みがかった灰色 | 低硬度ステンレス鋼の切断、成形型、プレス金型 |
CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | グレー | 重切削およびプレス金型 |
CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | グレー | 55~60HRCのステンレス鋼の切削、精密仕上げ、乾式切削 |
HDA0809 | HDA1200 |
φ850×H900(mm) | φ1200×H600(mm) |