1) 円筒ターゲットは平面ターゲットよりも利用率が高くなります。コーティング工程では、回転磁性式、回転管式の円筒型スパッタリングターゲットのいずれであっても、ターゲット管の表面全域が永久磁石前方に生成されるスパッタリング領域を連続的に通過してカソードスパッタリングを受け、ターゲットを均一にスパッタエッチングでき、ターゲット利用率が高い。対象物質の利用率は約80％～90％です。
2) 円筒状のターゲットは「ターゲット中毒」を起こしにくい。コーティングプロセス中、ターゲット管の表面は常にイオンによってスパッタリングおよびエッチングされ、表面に厚い酸化物やその他の絶縁膜が蓄積しにくく、「ターゲットポイズニング」が発生しにくいです。
3) 回転ターゲットチューブ型の円筒型スパッタリングターゲットは構造がシンプルで設置が容易です。
4) 円筒形ターゲットチューブの材質には様々な種類があります。金属ターゲットを使用した平面ターゲットは直接水冷、In2-SnO2ターゲット等の円筒ターゲットは熱間静水圧プレス用粉末材料ではサイズが作れないため加工・成形できないものもあります。大きくて脆いため、ろう付け方法と銅バックプレートを使用して一体化し、ターゲットベースに取り付ける必要があります。金属パイプに加えて、Si、Crなどのさまざまなコーティングが必要な材料を、円柱状ターゲットをステンレス鋼パイプの表面にスプレーすることもできます。
現在、工業生産におけるコーティング用ターゲットの円筒形の割合が増加しています。円筒形ターゲットは縦型コーティング機だけでなく、ロールツーロールコーティング機でも使用できます。近年、平面ツインターゲットは徐々に円筒ツインターゲットに取って代わられています。
——この記事は、Guangdong Zhenhua Technology 社によってリリースされました。光学塗装機メーカー.
投稿日時: 2023 年 5 月 11 日