プラズマ表面改質の特徴

高エネルギープラズマはポリマー材料に衝撃を与えて照射し、分子鎖を破壊し、活性基を形成し、表面エネルギーを増加させ、エッチングを生成します。プラズマ表面処理は、バルク材料の内部構造や性能には影響を与えず、表面特性を大きく変えるだけです。

プラズマ表面改質処理では、材料そのものの特性を損なわないために、通常、パワー密度の高いプラズマは使用しません。この治療と他のプラズマ治療の違いは次のとおりです。

1) 処理面にイオンや原子を注入（イオン注入など）しないでください。

2) 大きな材料（スパッタリングやエッチングなど）を除去しないでください。

3) 表面に材料の単一 (原子) 層を数層以上追加しないでください (堆積など)。

つまり、プラズマ表面処理には、最も外側の少数の原子層のみが含まれます。

プラズマ表面改質のプロセスパラメータには、主にガス圧力、電界周波数、放電電力、動作時間などが含まれます。プロセスパラメータは調整が簡単です。プラズマ改質プロセス中、多くの活性粒子は接触する処理表面と反応する傾向があり、材料表面の処理に使用できます。従来の方法と比較して、プラズマ表面改質には、プロセスが簡単、操作が簡単、低コスト、無公害、廃棄物なし、安全な生産、高効率という利点があります。