真空ポンプのスペアパーツによくある故障

I.真空ポンプの付属品は以下の通りです。
1. オイルミストフィルタ（別名：オイルミストセパレータ、排気フィルタ、排気フィルタエレメント）
駆動力の作用下にある真空ポンプ オイル ミスト セパレータは、真空ポンプ オイル ミスト セパレータの濾紙と綿を通してオイルとガスの混合物の片側に配置されます。その後、油が捕捉され、ガスと真空油を分離する操作プロセスが実現します。ろ過された真空ポンプオイルはオイルリターンパイプでリサイクルされ、排出される排ガスはオイルフリーで無公害・クリーン効果が得られます。

2.エアフィルター（別名：エアフィルターエレメント）
真空ポンプの摺動スペースは非常に狭いため、ゴミやゴミを含む異物が摺動面を損傷し、ポンプの摺動面が付着または詰まり、ポンプが正常に動作しなくなります。ポンプ内への異物の吸い込みを防ぐためには、フィルタなどでポンプ内への異物の侵入を遮断する必要があります。濾過されずに除去されなかった空気不純物がポンプ内に混入すると、潤滑油が混入し、油配管の詰まりを引き起こす可能性があります。したがって、原則として純正品を選ぶ必要があります。後のメンテナンスと修理：真空ポンプのエアフィルターを定期的に掃除して、フィルター内に残った不純物がポンプに吸い込まれ、ポンプの詰まりやその他の現象を引き起こすのを防ぐ必要があります。

3.オイルフィルター（別名：油室）
オイルグリッド、オイルフィルターとも呼ばれます。真空ポンプオイルフィルターは、多くの輸入真空ポンプブランドで構成され、ポンプリターンラインに設置されるオイル濾過装置です。主な目的は、システム内で発生または侵入した汚染物質を戻りタンクに捕捉することです。したがって、システムの汚染濃度を制御するための重要な濾過装置でもあります。

II.真空ポンプのスペアパーツの一般的な故障

1. 摩耗
磨耗は真空ポンプのスペアパーツの一般的な故障モードであり、潤滑条件下でのスペアパーツ間の接触面の摩擦磨耗は、ギア、シリンダー、ベーン、ロータースライドベアリング、ローリングベアリングでよく発生します。このタイプの摩耗は遅く、摩耗損失の影響は主に潤滑、シール条件に関係します。もう 1 つは無潤滑状態での予備品同士の摩擦や磨耗による予備品表面の材料摩擦で、特に真空ポンプで顕著です。カップリング、2Xポンププーリー、スクリュー真空ポンプのツインスクリューなど。この種の摩耗速度は前者よりもはるかに速く、主に金属材料の性能と材料の性質に関係します。オイル真空ポンプの場合、特に潤滑時の摩耗が顕著であり、真空ポンプオイルの劣化や異物の混入による潤滑不良が主な原因です。

2.疲労破壊
疲労は破壊メカニズムであり、亀裂の発生は破壊モードです。これらは、スペアパーツの最終的な破損を引き起こすことがよくあります。この疲労破壊のプロセスは、通常、交流荷重がかかるギア部品で発生します。カップリングボルト、フットボルト、スプリングなどの部品に多く見られ、ギアドライブシャフトなどの重要な予備部品にも発生します。疲労破壊には多くの要因が関係しており、原因を特定して対策を講じるためには、故障したスペアパーツを具体的に分析する必要があります。

3.変形
変形は、真空ポンプのスペアパーツの一般的な故障モードでもあります。ポンプは高速で動作すると一定の高温を発生します。シェルやプレートなどは加熱された状態にあることが多く、最も変形が起こりやすいです。徐々に発生する塑性変形は、スペアパーツの元の形状や形状を復元できなくなり、深刻な場合には機器の故障を引き起こします。シールリング、オイルシールなど

4.腐食
腐食は真空ポンプのスペアパーツの故障モードの 1 つです。これは、PCB、化学薬品、その他の作業条件など、より複雑なプロセス下で動作する真空ポンプでよく見られます。
これらのスペアパーツは摩耗部品です。上記のような状況ではスペアパーツを交換する必要があります。真空ポンプが故障した場合、処理をチェックし、スペアパーツの故障を判断し、上記の問題を解決するための適切な措置を講じる必要があります。機器をより長くご使用いただくためには、定期的なメンテナンスや修理を行い、故障の頻度を減らす必要があります。

マグネトロンスパッタリングコーティング生産ラインは、パネルと組み合わせたPLCを採用しており、生産ライン全体のコンポーネントの稼働状態のプロセス全体の監視、プロセスパラメータ設定、動作保護、アラーム機能を実現する完全な機能メニューで設計されています。電気制御システム全体が安全で信頼性があり、安定しています。加熱システムを備えた真空ポンプシステムの真空パーティションは独立したドアバルブを採用しており、真空パーティションは非常に信頼性があります。真空チャンバーはビルディングブロック構造を採用しており、機能の要求に応じてコーティングチャンバーを増やすことができます。生産ラインのポンピングシステムはポンピング用のメインポンプとして分子ポンプを採用しており、真空チャンバーのポンピング速度は安定しており、高速で低コストです。

主に板ガラス、アクリル、PETなどの製品のコーティングに使用され、さまざまな金属フィルム、誘電体フィルム、誘電体金属複合フィルム、EMIシールドフィルム、非導電性フィルムおよびその他のフィルム層でコーティングできます。