蒸着成膜装置の真空システムの共通操作手順

真空蒸着塗装機には、各種真空システムの動作、起動・停止プロセス、故障時の汚染防止などの厳しい要件があり、その操作手順に従う必要があります。

1.機械式ポンプは15Pa〜20Pa以上までしか汲み上げることができません。そうでない場合は、深刻な逆流汚染問題を引き起こします。
2、吸着ポンプ、抗圧力バースト装置を構成し、ウォームバック後の事故を回避します。
3、停止時はコールドトラップを真空チャンバーから隔離し、高真空ポンプは液体窒素を排除し温度が戻ってから停止してください。
4、拡散ポンプは、通常の運転前に20分以内にポンプを停止してください。油蒸気汚染が非常に大きいため、真空チャンバーまたはコールドトラップに接続しないでください。
5、モレキュラーシーブ、モレキュラーシーブ固体粉末内のモレキュラーシーブ吸着トラップまたは機械ポンプによる吸収を避けてください。蒸着コーティング機の真空システムが真空度の要件に達しない場合、または排気できない場合は、まず排気装置の動作状態を確認してから、ブリード源が存在するかどうかを確認します。真空部品を組み立てる前に、真空システムを洗浄、乾燥し、漏れがないか確認してから、認定された後にのみ使用してください。取り外し部のシールリングの清浄状態、シール面の傷問題、密着不良等を確認してください。

防指紋コーティング装置

防指紋コーティング機はマグネトロンスパッタリング成膜技術を採用しており、膜の密着性、硬度、耐汚れ性、耐摩擦性、耐溶剤性、耐老化性、耐ブリスター性、耐沸騰性などの性能問題を解決するだけでなく、ARも生成できます。フィルムとAFフィルムを同一炉内で製造できるため、特に金属やガラス表面のカラー加飾、ARフィルム、AF/ASフィルムの量産に適しています。この装置は、大きな積載能力、高効率、シンプルなプロセス、簡単な操作、良好なフィルム層の一貫性を備えています。優れたフィルム層の性能に加え、環境に優しいプロセスを採用しています。

この装置は、携帯電話のガラスカバー、携帯電話のレンズ、防爆フィルムなどの表面処理分野での層からAR+AFのコーティングまで幅広く使用されており、これらの製品は汚れに強く、掃除が簡単です。表面と長寿命。