真空成膜装置の環境要件

以来真空コーティング装置真空条件下で動作するため、機器は環境の真空要件を満たさなければなりません。我が国で策定された各種真空成膜装置の業界基準（真空成膜装置、真空イオン成膜装置、真空スパッタリング成膜装置、真空蒸着成膜装置の一般技術条件を含む）には、環境要件が明確に規定されています。真空コーティング装置の環境要件を満たすことによってのみ、装置は正常に動作し、正しいコーティングプロセスによって、適格なコーティング製品を生産することができます。

真空環境の要件には、一般に、実験室（または作業場）の温度、空気中でのわずかな利益、真空状態または真空状態での部品や表面の要件など、周囲環境に対する真空装置の要件が含まれます。真空。これら 2 つの側面は密接に関連しています。周囲環境の良否は真空装置の通常の使用に直接影響し、真空装置の真空チャンバーや真空装置に搭載されている部品が洗浄されているかどうかは装置の性能に直接影響します。空気中に水蒸気や塵埃が多く含まれており、真空槽内が清掃されていない場合、油封式メカニカルポンプで空気を吸引しても所望の真空度を得ることが困難です。周知のとおり、油封式機械ポンプは、金属を腐食し、真空油と化学的に反応し、粒子状の塵を含むガスの圧送には適していません。水蒸気は凝縮性気体です。ポンプが大量の凝縮性ガスを送り出す場合、ポンプオイルの汚染はさらに深刻になります。その結果、ポンプの到達真空度が低下し、ポンプの排気能力が破壊されます。

真空コーティング装置の通常の動作条件は次のとおりです。

① 周囲温度10~30℃。

② 相対湿度が 70% 以下であること。

③ 冷却水入口温度が 25℃以下であること。

④ 冷却水の水質 市水道水または同等の水質。

⑤電源電圧：380V、三相50Hzまたは220V、単相50Hz（使用する電気製品のニーズによる）、電圧変動範囲342〜399Vまたは198〜231V、周波数変動範囲49〜51Hz。

⑥圧力、温度、消費量は製品の取扱説明書に記載してください。

⑦ 装置の周囲の環境は清浄で空気が清浄であり、電気製品やその他の金属部品の表面腐食や金属間の電気伝導を引き起こす可能性のある塵埃やガスがないこと。

さらに、真空コーティング装置が設置されている実験室または作業場は、清潔で衛生的に保つ必要があります。床はテラゾーまたは木製の塗装床で、埃がありません。機械式ポンプから排出されるガスによる実験室環境の汚染を防ぐため、ポンプの排気口に使用することができます。表面に排気管（金属管、ゴム管）を設置し、ガスを外部に排出します。