熱線アーク強化プラズマ化学蒸着技術は、熱線アーク ガンを使用してアーク プラズマを放出します (熱線アーク PECVD 技術と略されます)。この技術は熱線アークガンイオンコーティング技術と似ていますが、熱線アークガンイオンコーティングで得られる固体膜は、熱線アークガンから発せられるアーク光の電子流を利用して金属を加熱・蒸発させる点が異なります。熱線アーク光 PECVD には、ダイヤモンド膜の堆積に使用される CH4 や H2 などの反応ガスが供給されます。熱線アークガンから放出される高密度アーク放電電流を利用して、反応性ガスイオンが励起され、ガスイオン、原子イオン、活性基などを含むさまざまな活性粒子が得られます。
熱線アーク PECVD 装置では、引き続き 2 つの電磁コイルがコーティング室の外側に設置されており、アノードに向かう移動中に高密度の電子流が回転し、電子流と反応ガスの間の衝突およびイオン化の確率が増加します。 。電磁コイルは、アーク柱に収束して、堆積チャンバ全体のプラズマ密度を高めることもできる。アーク プラズマでは、これらの活性粒子の密度が高く、ダイヤモンド フィルムやその他のフィルム層をワークピース上に堆積しやすくなります。
——この記事は、Guangdong Zhenhua Technology 社によってリリースされました。光学塗装機メーカー.
投稿時刻: 2023 年 5 月 5 日