1. 熱CVD技術
硬質皮膜は主に金属セラミック皮膜（TiNなど）で、皮膜中の金属の反応と反応性ガス化によって形成されます。熱CVD技術は当初、1000℃の高温での熱エネルギーにより結合反応の活性化エネルギーを与える技術でした。この温度は、超硬工具に TiN およびその他の硬質コーティングを堆積する場合にのみ適しています。これまでのところ、超硬合金ツールヘッドに TiN-Al20 複合コーティングを堆積することは依然として重要な技術です。
2. ホローカソードイオンコーティングと熱線アークイオンコーティング
1980 年代には、ホローカソード イオン コーティングと熱線アーク イオン コーティングが、コーティングされた切削工具の蒸着に使用されました。これらのイオンコーティング技術はいずれもアーク放電式イオンコーティング技術であり、金属イオン化率は最大20%～40%です。
3. 陰極アークイオンコーティング
カソード アーク イオン コーティングの出現により、金型に硬質コーティングを堆積する技術の開発が始まりました。カソードアークイオンコーティングのイオン化率は60%～90%で、多くの金属イオンや反応ガスイオンがワーク表面に到達しながらも高い活性を維持し、反応析出や次のような硬質皮膜を形成します。錫。現在、陰極アークイオンコーティング技術は、金型に硬質皮膜を堆積させるために主に使用されています。
陰極アーク源は固定溶融池のない固体蒸発源であり、アーク源の位置を任意に配置できるため、塗装室のスペース利用率が向上し、炉の負荷容量が増加します。陰極アーク源の形状としては、小型円形の陰極アーク源、円柱状のアーク源、長方形の扁平型の大型アーク源などがある。小型アーク源、柱状アーク源、大型アーク源の異なるコンポーネントを個別に配置して、多層膜やナノ多層膜を堆積することができます。一方、陰極アークイオンコーティングは金属イオン化率が高いため、金属イオンがより多くの反応ガスを吸収することができ、その結果、広い処理範囲と簡単な操作で優れた硬質皮膜を得ることができます。しかしながら、陰極アークイオンコーティングにより得られるコーティング層の微細構造には粗大な液滴が存在する。近年、皮膜層の構造を微細化する新技術が数多く登場し、アークイオンコーティング皮膜の品質は向上しています。
——この記事は、Guangdong Zhenhua Technology 社によってリリースされました。光学塗装機メーカー.
投稿時間: 2023 年 4 月 28 日