プラズマ直接重合プロセス

プラズマ直接重合プロセス

プラズマ重合のプロセスは、内部電極重合装置と外部電極重合装置の両方で比較的単純ですが、パラメータはプラズマ重合中のポリマーフィルムの構造と性能に大きな影響を与えるため、プラズマ重合ではパラメータの選択がより重要です。

直接プラズマ重合の操作手順は次のとおりです。

(1) 真空引き

真空条件下での重合のバックグラウンド真空は、1.3×10-1Paまで排気されるべきである。酸素または窒素の含有量を制御するために特別な要件が必要な重合反応の場合、バックグラウンド真空要件はさらに高くなります。

(2) 仕込み反応モノマーまたはキャリアガスとモノマーの混合ガス

真空度は13～130Paです。プラズマ重合を必要とする作業の場合、適切な流量制御モードと流量を選択する必要がありますが、一般的には 10.100mL/min です。プラズマ中では、高エネルギー粒子の衝撃によってモノマー分子がイオン化および解離され、イオンや活性遺伝子などの活性粒子が生成されます。プラズマによって活性化された活性粒子は、気相と固相の界面でプラズマ重合を起こすことができます。モノマーはプラズマ重合の前駆体の原料であり、投入される反応ガスとモノマーは一定の純度を持っていなければなりません。

(3) 励磁電源の選定

プラズマは、DC、高周波、RF、またはマイクロ波電源を使用して生成され、重合のた​​めのプラズマ環境を提供します。電源の選択は、ポリマーの構造と性能の要件に基づいて決定されます。

(4) 放電モードの選択

ポリマーの要件に応じて、プラズマ重合では連続放電またはパルス放電の 2 つの放電モードを選択できます。

(5) 放電パラメータの選択

プラズマ重合を行う場合、プラズマパラメータ、ポリマー特性、構造要件から放電パラメータを考慮する必要があります。重合中に加えられる電力の大きさは、真空チャンバーの容積、電極のサイズ、モノマーの流量と構造、重合速度、ポリマーの構造と性能によって決まります。例えば、反応室容積が 1L で RF プラズマ重合を採用した場合、放電電力は 10 ～ 30W の範囲になります。このような条件下では、生成されたプラズマが凝集してワークピースの表面に薄膜を形成する可能性があります。プラズマ重合膜の成長速度は、電源、モノマーの種類と流量、プロセス条件によって異なります。一般に、成長速度は100nm/min〜1um/minです。

(6) プラズマ重合におけるパラメータ測定

プラズマ重合で測定されるプラズマパラメータとプロセスパラメータには、放電電圧、放電電流、放電周波数、電子温度、密度、反応基の種類と濃度などが含まれます。

——この記事は、Guangdong Zhenhua Technology 社によってリリースされました。光学塗装機メーカー.