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真空システムのいくつかの問題を無視してはなりません。

記事ソース:振華真空
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公開日:2007/11/22

1、バルブ、トラップ、集塵機、真空ポンプなどの真空コンポーネントを相互に接続する場合、ポンプパイプラインを短くし、パイプラインのフローガイドを大きくし、導管の直径を一般的に大きくするように努める必要があります。ポンプポートの直径よりも小さくないことは、システム設計の重要な原則です。しかし同時に、設置とメンテナンスの利便性も考慮します。振動防止や騒音低減のため、真空室に近いポンプ室にメカニカルポンプを設置する場合があります。
真空システムのいくつかの問題を無視してはなりません
2、機械式ポンプ(ルーツポンプを含む)には振動があり、システム全体の振動を防ぐために、通常はホースで振動を軽減します。ホースには金属製と非金属製の2種類があり、どちらのホースであっても大気圧が抜けないようにする必要があります。

3、真空システムを構築した後、測定と漏れ検出が簡単になる必要があります。生産現場では、真空システムから漏れが発生しやすく、作業工程での生産に影響を与えることがよくあります。漏れ穴を迅速に発見するには、断面リークテストを実行する必要があるため、測定とリークテストのためにバルブで閉じられた各間隔に少なくとも1つの測定ポイントが必要です。

4. 真空システムに構成されたバルブとパイプラインは、システムの排気時間を短くし、使いやすく、安全で信頼性の高いものにする必要があります。一般に、メインポンプ(拡散ポンプまたはオイルブースターポンプ)として蒸気流ポンプ、前段ポンプとして機械式ポンプを備えたシステムでは、さらに前真空パイプライン(蒸気流ポンプと直列に接続された蒸気流ポンプのパイプライン)が必要です。機械ポンプ)前段パイプライン(真空チャンバーから機械ポンプへのパイプライン)が必要です。次に、真空チャンバーとメインポンプの間には高真空バルブ (メインバルブとも呼ばれます) があり、前段パイプラインには前段パイプラインバルブ (低真空バルブとも呼ばれます) があります。前真空パイプラインには前真空パイプライン バルブ (低真空バルブと呼ばれます) があります。メインポンプの高真空バルブは通常、真空状態ではバルブカバーの下で開くことができず、大気圧状態ではバルブカバーの上で開くことができないため、安全のために電気的インターロックによって確保する必要があります。前段パイプラインバルブおよび前真空パイプラインバルブは、バルブ自体が大気圧下で開くことができると考慮する必要があります。ベーパーフローポンプをメインポンプとする真空システムの場合、メインバルブはメインポンプにカバーされ、前段配管バルブもメインポンプにカバーされ、前真空配管バルブは真空チャンバーにカバーされる必要があります。 。メカニカルポンプの入口パイプには、デフレーションバルブがあるはずです。メカニカルポンプが停止した場合、このバルブは直ちに開いてメカニカルポンプを大気中に開放し、メカニカルポンプオイルの配管への逆流を防ぐため、メカニカルポンプと電気的に連動する必要があります。真空チャンバーには、材料の積み込みと取り出しのために減圧バルブも設置する必要があります。バルブの位置は、真空チャンバー内の弱いコンポーネントが過度の衝撃によって損傷するのを防ぐために、収縮時のガスの大きな衝撃を考慮する必要があります。減圧バルブのサイズは真空チャンバーの容積に関係しており、減圧時間が長すぎて作業に影響を与えないよう考慮する必要があります。

5. 真空システムの設計は、安定した信頼性の高い排気、簡単な取り付け、分解とメンテナンス、便利な操作、およびコンポーネント間の接続の互換性を保証する必要があります。安定した排気ガスを実現するには、メインポンプが安定していること、バルブが柔軟で信頼性が高いこと、システム内の各コンポーネントのコネクタが漏れていないこと、真空チャンバーが良好なシール性能を備えていること、および真空コンポーネントの接続が必要であること互換性を確保するには、標準サイズである必要があります。原則として、真空システムの設計では、各密閉パイプのサイズは調整可能である必要があります。以前はこの調整可能なサイズはホースを使用することで解決されていましたが、現在ではほとんどのシステムがホースなしで設計されています。代わりに、真空部品の加工寸法の精度を向上させ、接続フランジにシールゴムリングを使用することで取り付け誤差を解決します。これにより、システムの強度と剛性が向上し、システムに使用されるブラケットが減り、より美しくなります。 。

6、自動制御とインターロック保護を実現するには、真空システムの設計に新技術を採用する必要があります。真空技術の発展に伴い、真空リレーを使用してルーツポンプを制御して1333Paの圧力で動作を開始するなど、排気プロセス全体で自動的に動作できることが求められています。水圧リレーは蒸気流ポンプの水圧を一定の圧力に制御するために使用され、水圧が不足または遮断された場合、直ちに電源を遮断して警報を発することができます。ポンプの焼損を防ぎます。複雑な真空システムとプロセスの場合、装置の厳しい要件のパラメータは、より安全で信頼性の高いマイクロコンピュータプログラムによって制御される必要があります。

7、真空システムの設計は、エネルギーを節約し、コストを削減し、使いやすく、信頼性が高いことが必要です。これを行うことは経済的に大きな意味があり、設計された真空装置が幅広い市場で売れる可能性があります。

マグネトロンコーティング装置は、中周波マグネトロンスパッタリングとマルチアークイオン組み合わせ技術を採用しており、プラスチック、ガラス、セラミック、ハードウェア、およびメガネ、時計、携帯電話アクセサリー、電子製品、クリスタルガラスなどのその他の製品に適しています。フィルム層の密着性、再現性、密度、均一性が良好で、生産量が多く製品歩留まりが高いという特徴を持っています。

主に金属キー、カード ホルダー、センター フレーム コーティングされたゴールド、ローズ ゴールド、ブラック、ガンメタル ブラック、ブルーを備えた携帯電話に使用されます。


投稿時間: 2022 年 11 月 7 日