真空塗装機でのメカニカルポンプの使用

メカニカルポンプは前段ポンプとも呼ばれ、最も広く使用されている低真空ポンプの 1 つであり、オイルを使用してシール効果を維持し、機械的方法に依存してポンプ内の吸引キャビティの容積を連続的に変更します。ポンプで汲み上げられた容器内のガスの体積は継続的に膨張して真空になります。メカニカルポンプには多くの種類があり、スライドバルブ式、ピストン往復式、固定羽根式、回転羽根式などが一般的です。

メカニカルポンプの構成部品
機械式ポンプは乾燥空気のポンプによく使用されますが、高酸素含有量、爆発性および腐食性ガスのポンプには使用できません。機械式ポンプは一般に永久ガスのポンプに使用されますが、水やガスには良い影響を与えないため、水やガスをポンプすることはできません。 。ロータリーベーンポンプの主な役割を果たす部品は、ステータ、ロータ、破片などです。ロータはステータの内側にありますが、2つの内接円のようにステータとは異なる軸を持ち、ロータスロットには2つのスロットが装備されています。破片の場合、2 つの破片の中央には、破片がステータの内壁にしっかりと固定されるようにするためのスプリングが装備されています。

メカニカルポンプの動作原理
2つの破片が交互に2つの役割を果たし、一方では入口からガスを吸い込み、他方ではすでに吸い込まれたガスを圧縮してポンプからガスを抜く。ローターの回転サイクルごとに、ポンプは 2 回の吸引と 2 回の収縮を完了します。
ポンプが継続的に時計回りに回転すると、ロータリーベーンポンプは入口からガスを継続的に引き込み、排気ポートからガスを収縮させて、コンテナをポンピングするという目的を達成します。ポンプの到達真空度を向上させるために、ポンプのステータはオイルに浸漬され、各所の隙間や有害な空間には隙間を埋めるのに十分な量のオイルが保持されることが多く、オイルは潤滑の役割を果たす一方で、一方、ガス分子がさまざまな経路を通って低圧の空間に逆流するのを防ぐために、隙間や有害な空間を密閉して遮断する役割も果たします。
機械式ポンプの収縮効果は、モーターの速度とベルトの締め付けにも関係します。モーターのベルトが比較的緩い場合、モーターの速度が非常に遅い場合、機械式ポンプの収縮効果も悪化するため、頻繁にメンテナンス、スポットチェック、機械式ポンプを行う必要があります。オイルシール効果も頻繁にスポットチェックする必要があります。オイルが少なすぎるとシール効果が得られません。ポンプが漏れます。オイルが多すぎると、吸入穴が詰まり、空気を吸入できず、排気できません。一般的に、オイルレベルは0.5 cmです。線の下でも構いません。

前段ポンプにメカニカルポンプを備えたルーツポンプ
ルーツポンプ: 同期して高速回転する一対のダブルローブまたはマルチローブローターを備えた機械式ポンプです。動作原理はルーツブロワーと同じなので、ルーツ真空ポンプとも呼ばれ、100-1Paの圧力範囲で排気速度が大きく、メカニカルポンプの減圧不足の欠点を補います。この圧力範囲での能力。このポンプは空気から仕事を開始したり、空気を直接排気したりすることはできません。その役割は入口と出口の間の圧力差を増やすことだけであり、残りは機械式ポンプを完成させるために必要であるため、装備する必要があります前段ポンプとしてメカニカルポンプを使用しています。

メカニカルポンプの注意事項とメンテナンス

機械式ポンプを使用する際には、次の問題に注意する必要があります。
1、機械ポンプは清潔で乾燥した場所に設置してください。
2、ポンプは清潔で乾燥した状態に保ってください。ポンプ内のオイルにはシールと潤滑の効果があるため、指定された量に従って追加する必要があります。
3、ポンプオイルを定期的に交換するには、以前の廃油を交換するときに最初に排出する必要があり、1回の交換サイクルは少なくとも3か月〜6か月です。
4、指示に従ってワイヤーを接続します。
5、機械ポンプは、動作を停止する前に空気入口バルブを閉じる必要があります。その後、電源をオフにして空気バルブを開き、空気が空気入口を通ってポンプに流れ込みます。
6、ポンプが作動しているとき、油の温度は75℃を超えてはなりません。そうでない場合、油の粘度のために温度が低すぎて、シール不良につながります。
7、メカニカルポンプのベルトの締まり具合、モーターの速度、ルーツポンプモーターの速度、シールリングのシール効果を時々確認してください。

–この記事は真空成膜装置メーカーであるGuangdong Zhenhua Technology社から発行されたものです。