真空塗装装置の汚染源は何ですか

の真空コーティング装置多くの精密部品で構成されており、溶接、研削、旋削、平面削り、穴あけ、フライス加工などの多くの工程を経て作られています。これらの作業により、機器部品の表面は、グリース、油汚れ、金属片、溶接フラックス、研磨剤、汗跡などの汚染物質で必然的に汚染されます。これらの汚染物質は真空条件下で揮発しやすいため、装置の到達真空度に影響を与えます。

また、これらの機械加工による真空汚染物質は大気圧環境下では多量のガスを吸収し、真空状態では以前に吸着したガスも再放出され、限界真空を制限する大きな要因となります。このため、真空成膜機の部品を組み立てる前に汚染物質を除去する必要があります。

真空装置を使用すると、そのコンポーネントも汚染されます。ただし、この発生源による汚染は主に使用条件と真空ポンプによって引き起こされます。

1. 真空計のフィラメントが高温条件下で蒸発すると、セラミック絶縁体に皮膜が形成され、絶縁強度がある程度損なわれ、精度にも影響を与えます。測定;

2. 高温蒸着により、真空中で電子銃のフィラメント付近の表面に金属膜が形成されます。

3. ワークピースのスパッタリングにより、イオンビームエッチング装置の内壁は飛沫によって汚染されます。

4. 真空蒸着装置の内壁が蒸着対象物質により汚染されます。

5. 真空乾燥システムがよく使用されますが、蒸発した物質によってシステムが汚染されます。

6. 真空コーティング装置内の拡散ポンプ油および機械ポンプ油も主要な汚染源です。塗装機を長時間稼働させていると、装置内部に油膜が形成されることがあります。

要約すると、装置の真空衛生化には、真空装置、真空システム、真空プロセス生産などの側面とリンクが含まれるほか、真空コーティング装置自体の要件や使用条件に関する特殊な真空プロセスも必要になります。したがって、真空汚染は装置の性能に影響を与えるため注意すべき問題であり、定期的または随時の清掃に注意を払う必要があります。