抵抗蒸発源コーティングとは何ですか？

抵抗蒸着法は真空蒸着の基本的な成膜方法です。「蒸着」とは、真空チャンバー内でコーティング材料を加熱して蒸発させ、材料の原子または分子が蒸発して表面から逃げ、蒸気流現象を形成してコーティング材料の表面に入射する薄膜の作成方法を指します。基板または基板と接触し、最終的に凝縮して固体フィルムを形成します。

いわゆる抵抗蒸発源コーティング法とは、タンタル、モリブデン、タングステンなどの高融点金属を用いて適切な形状の蒸発源を作り、そこに蒸発材料を充填し、空気を流して直接加熱し蒸着する方法です。蒸発した材料を蒸発させるか、蒸着する材料をアルミナ、酸化ベリリウム、その他のるつぼに入れて間接的に加熱して蒸発させます。抵抗加熱蒸着法です。

の真空蒸着塗装機抵抗ヒーターで加熱・蒸発させる方式は、構造が簡単でコストが安く、信頼性が高いという利点があります。低融点材料の蒸着コーティング、特にコーティング品質の要件が低い大量生産に使用できます。これまでのところ、アルミメッキミラーの製造には、抵抗加熱と蒸着による多数のコーティングプロセスが依然として使用されています。

抵抗蒸発源蒸着法の欠点は、加熱到達温度が限られ、ヒーターの寿命も短いことです。近年、装置工場では抵抗蒸発源の長寿命化を図るため、長寿命の窒化ホウ素を原料として合成された導電性セラミックスを蒸発源として採用しています。日本の特許報告書によると、20%～30%の窒化ホウ素とそれを溶融する耐火物からなる材料を蒸発源（るつぼ）に使用し、その表面を62%のジルコニウムを含む層でコーティングすることができる。 ~82%、残りはジルコニウム - シリコン合金材料です。