| タイプ | 名前 | 原理 | 使用圧力範囲 |
| メカニカルポンプ | 単機オイルシールメカニカルポンプ | 機械でガスを圧縮し、抜く | 105--101 |
| ダブルマシンオイルシールメカニカルポンプ | 105--102 | ||
| 分子ポンプ | 101--108 | ||
| ルーツポンプ | 103--102 | ||
| 蒸気噴射ポンプ | オイルインジェクションポンプ | スチームジェットの勢いでガスを運び去る | 101--107 |
| 油拡散ポンプ | 101--106 | ||
| 水銀拡散ポンプ | 101--105 | ||
| 乾ポンプ | スパッタリングイオンポンプ | 昇華またはスパッタリングによって形成された吸収膜によるガスの吸収と除去 | 101--108 |
| チタンサブリメーションポンプ | 101--109 | ||
| 吸着ポンプ | 低温表面での物理吸着によるガス除去 | 106--102 | |
| 復水ポンプ | 102--1011 | ||
| ドレン吸着ポンプ | 102--1010 |
投稿時間: 2022 年 11 月 8 日